[實用新型]PECVD上料區防撞舟保護裝置有效
| 申請號: | 201220124747.4 | 申請日: | 2012-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN202610316U | 公開(公告)日: | 2012-12-19 |
| 發明(設計)人: | 蔣科;張洋;孫袁野;雷凱;寧成森 | 申請(專利權)人: | 上饒光電高科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/44 | 分類號: | C23C16/44 |
| 代理公司: | 江西省專利事務所 36100 | 代理人: | 楊志宇 |
| 地址: | 334100 江西*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | pecvd 上料區防撞舟 保護裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種用于太陽能光伏領域的防撞保護裝置,特別是PECVD上料區防撞舟保護裝置。
背景技術
目前,太陽能光伏領域PECVD上料設備的上料區域只有一個光電傳感器,一旦光電傳感器失效,就無法檢查到推入設備中的小車上有無石墨舟,將會存在嚴重的安全隱患。
發明內容
本實用新型的目的在于提供了一種PECVD上料區防撞舟保護裝置。?
本實用新型是通過一下技術方案實現的:
PECVD上料區防撞舟保護裝置,包括上料設備、繼電器、Ⅰ號光電傳感器和Ⅱ號光電傳感器;其中:上料設備1通過導線與繼電器串聯,繼電器通過導線分別與Ⅰ號光電傳感器和Ⅱ號光電傳感器串聯,Ⅰ號光電傳感器與Ⅱ號光電傳感器通過導線并聯。
本實用新型的優點:在上料區增加一個光電傳感器,作為雙重保護。通過改進后,能夠在一個傳感器失效后,通過另一個傳感器檢測,保護石墨舟和機械臂的安全,是設備運行更穩定。采用簡單有效的方法改進,節約成本,又便于維護保養。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖;
附圖標記:上料設備1、繼電器2、Ⅰ號光電傳感器3、Ⅱ號光電傳感器4。
具體實施方式
實施例1、PECVD上料區防撞舟保護裝置,包括上料設備1、繼電器2、Ⅰ號光電傳感器3和Ⅱ號光電傳感器4;其中:上料設備1通過導線與繼電器2串聯,繼電器2通過導線分別與Ⅰ號光電傳感器3和Ⅱ號光電傳感器4串聯,Ⅰ號光電傳感器3與Ⅱ號光電傳感器4通過導線并聯。
工作原理:
兩個光電傳感器同時檢測上料設備1上是否有石墨舟,即使Ⅰ號光電傳感器3發生故障檢測不到上料設備1上有石墨舟,Ⅱ號光電傳感器4也會檢測到上料設備1上有石墨舟,進而預防了兩個石墨舟相撞事故的發生。
如果Ⅰ號光電傳感器3因故障沒感應到上料設備1上有石墨舟,上料設備1會認為沒有石墨舟,然后自動將其他的石墨舟移放到上料設備1上。但實際是上料設備1上是有石墨舟的,所以就會發生相撞。如果再加個Ⅱ號光電傳感器4,有了雙重保護,就不會出現這種情況了。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





