[實用新型]光學檢測系統

有效

• 申請號: 201220106898.7
• 申請日: 2012-03-19
• 公開（公告）號: CN202471611U
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 謝富翔;林圣涵
• 申請（專利權）人: 宏瀨科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/896
• 分類號: G01N21/896
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;常大軍

1.一種光學檢測系統，用以對一玻璃基板進行缺陷檢測該玻璃基板具有一基板正面與一基板背面，其特征在于，該光學檢測系統包含：

一輸送裝置，沿一輸送方向輸送該玻璃基板；

一正向檢測模塊，設置于該輸送裝置，并且包含：

一正向光源，對該基板背面投射一正向光束；以及

一正面取像元件，用以接收穿透該玻璃基板的該正向光束，并據以產生一正面影像信號；

一斜向檢測模塊，設置于該輸送裝置，并且包含：

一斜向光源，對該基板正面投射一斜向光束；以及

一斜面取像元件，用以接收經該基板正面反射的該斜向光束，并據以產生一斜面影像信號；以及

一控制界面，電性連結于該正向檢測模塊與該斜向檢測模塊，用以接收該正面影像信號與該斜面影像信號，并分別產生一正面缺陷影像與一斜面缺陷影像。

2.根據權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，該正向光源的設置方向為，滿足該正向光束與一垂直于該輸送方向的基準線之間的角度介于0～5度。

3.根據權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，該正向檢測模塊還包含一輔助光源，用以對該基板正面投射出一輔助光束，該輔助光源的設置方向為，滿足該輔助光束與一垂直于該輸送方向的基準線之間的角度介于15～30度。

4.根據權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，該斜向光源的設置方向為，滿足該斜向光束與一垂直于該輸送方向的基準線之間的角度介于10～45度。

5.根據權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，該檢測系統還包含一背向檢測模塊，其設置于該輸送裝置，且該背向檢測模塊包含一背向光源與一背面取像元件，該背向光源用以對該基板正面投射一背向光束，該背面取像元件用以接收穿透該玻璃基板的該背向光束，以產生一背面影像信號，而該控制界面還電性連結于該背向檢測模塊，以接收該背面影像信號，并據以產生一背面缺陷影像。

6.根據權利要求5所述的光學檢測系統，其特征在于，該背向光源的設置方向為，滿足該背向光束與一垂直于該輸送方向的基準線之間的角度介于5～10度。

7.根據權利要求5所述的光學檢測系統，其特征在于，該背向檢測模塊還包含一輔助光源，用以對該基板背面投射出一輔助光束，該輔助光源的設置方向為，滿足該輔助光束與一垂直于該輸送方向的基準線之間的角度介于15～30度。