[實用新型]電流感應裝置

有效

• 申請號: 201220088765.1
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN202495418U
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 陽厚國
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

【技術領域】

本實用新型涉及半導體工藝中使用的設備，尤其涉及一種電流感應裝置。

【背景技術】

隨著集成電路器件關鍵尺寸的逐步減小，對器件電性的穩定性和均勻性的要求越來越高。在離子注入制程中，需要更高的精確性和穩定性。因此，需要對離子注入的劑量進行監控。

在離子注入過程中，注入的劑量是通過電流感應器感應電流的大小，然后乘以感應時間，再除以一個電子的電量，就知道注入了多少個電子：N＝I*T/E。其中，N是注入的電子數，I是感應電流，T是感應時間，E是一個電子的電量?；蛘?maths num=0001>N=∫I*dTE.]]>

圖1是一種傳統的機臺離子束電流感應器的示意圖。注入的離子束被電流感應器感應后，由電流計測得感應電流。然而這樣只能監測到電流感應器感應范圍內總體的電流大小和注入劑量，無法保證注入的均勻性和局部的精確性。

【實用新型內容】

基于此，有必要提供一種能夠對注入離子束的均勻性和局部的精確性進行監控的電流感應裝置。

一種電流感應裝置，包括離子感應器，所述離子感應器包括多個導電的感應分塊，以及將所述多個感應分塊分隔開使得所述感應分塊兩兩絕緣的絕緣層；所述電流感應裝置還包括與感應分塊數量匹配的分電流計，每個所述感應分塊均與其匹配的分電流計連接。

優選的，所述離子感應器為長方體，每個所述感應分塊也為長方體。

優選的，所述感應分塊的數量為30個，排列成每行3個每列10個的矩陣形式。

優選的，還包括與每個所述分電流計均連接的總電流計。

上述電流感應裝置，能夠獲取每個感應分塊感應到的電流，測試人員根據該電流可以判斷該部分(即離子束的一個局部)的離子濃度，因此在離子束的局部不均勻時可以檢測出來，杜絕因離子束不均勻造成的產品缺陷，提高產品的良率。

【附圖說明】

圖1是一種傳統的機臺離子束電流感應器的示意圖；

圖2是一實施例中離子感應器的示意圖；

圖3是一實施例中電流感應裝置的示意圖；

圖4是一實施例中離子束均勻性的檢測方法的流程圖。

【具體實施方式】

為使本實用新型的目的、特征和優點能夠更為明顯易懂，下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細的說明。

離子注入工藝是半導體制程中的重要工藝。為便于使用和控制，離子注入中的離子源大多采用氣態源。摻雜原子被離化、分離、加速形成離子束，對晶圓進行轟擊，打入晶圓內部。注入的雜質離子會使晶圓表面的方塊電阻發生改變。

離化過程發生在低壓(例如約10^-3Torr)且通有蒸汽狀態的離子源的離化反應腔中。反應腔包括作為陽極的金屬極板和作為陰極的燈絲，燈絲相對于金屬極板而言維持一個大的負電位，其表面被加熱到可以發射電子的溫度。反應腔內部的氣體從金屬極板(陽極)和熱燈絲(陰極)之間通過。電子被陽極所吸引而向金屬極板加速運動，過程中與作為離子源的分子發生碰撞，產生大量離子，并經分離、加速后形成離子束。

本實用新型的電流感應裝置包括用于接收上述離子束的離子感應器200。如圖2所示，離子感應器200包括多個導電的感應分塊210，以及將多個感應分塊210分隔開使得感應分塊210兩兩絕緣的絕緣層220。電流感應裝置還包括與感應分塊210數量匹配的分電流計，每個感應分塊210均與其匹配的分電流計連接，如圖3所示。在圖3所示實施例中，每個感應分塊210均有一個唯一對應的分電流計?？梢岳斫獾?，在其它實施例中也可以做出適當變形，例如每兩個感應分塊210連接一個分電流計。

在圖2所示實施例中，離子感應器200為長方體，每個感應分塊210也為長方體。在其它實施例中也可以為其它合適的形狀。感應分塊210的數量為30個，排列成每行3個、每列10個的矩陣形式。在圖2所示實施例中，每個感應分塊210的根據機臺尺寸配置為9cm*1cm*2cm。注意圖2僅為一示意圖，與實際尺寸比例有所不同。離子注入機臺注入的離子束打在9cm*1cm的那一面上。