[實(shí)用新型]晶圓加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220024986.2
• 申請(qǐng)日: 2012-01-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202502987U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳志豪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陳志豪
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京匯智英財(cái)專利代理事務(wù)所 11301
• 代理人: 張俊閣

1.一種晶圓加工設(shè)備，用于晶圓切割加工及研磨加工，其特征在于，該晶圓加工設(shè)備包括有：

一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置于一個(gè)預(yù)設(shè)工作機(jī)臺(tái)上，該驅(qū)動(dòng)裝置其延伸出有一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸，且該驅(qū)動(dòng)軸套設(shè)一個(gè)鎖固元件；

至少一個(gè)鎖片，固定結(jié)合于該驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)軸，該鎖片設(shè)有一個(gè)穿孔，而驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)軸穿設(shè)該鎖片的穿孔，且該鎖固元件套設(shè)于驅(qū)動(dòng)軸上，借此鎖片固定結(jié)合于驅(qū)動(dòng)軸上。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，該鎖片為切割片。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，該鎖片為研磨片。

4.如權(quán)利要求1所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，進(jìn)一步包括有一個(gè)固定機(jī)構(gòu)，該固定機(jī)構(gòu)結(jié)合于驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)軸，且該固定機(jī)構(gòu)包括有一個(gè)第一夾片、第二夾片及蓋體，而驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)軸依序穿設(shè)該第一夾片、鎖片、第二夾片及蓋體，鎖片相對(duì)位于第一夾片與第二夾片之間，且該鎖固元件套設(shè)于驅(qū)動(dòng)軸上，借此固定機(jī)構(gòu)及鎖片分別固定結(jié)合于驅(qū)動(dòng)軸上。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，該第一夾片凸設(shè)有一個(gè)凸部，并設(shè)有相對(duì)貫穿第一夾片及凸部的鎖孔，而驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)軸穿設(shè)于鎖孔，且該鎖片的穿孔套設(shè)于第一夾片的凸部。

6.如權(quán)利要求4所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，該第二夾片設(shè)有一個(gè)鎖孔，而驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)軸穿設(shè)于此鎖孔。

7.如權(quán)利要求4所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，該蓋體設(shè)有一個(gè)鎖孔，而驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)軸穿設(shè)于此鎖孔。

8.如權(quán)利要求1所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，進(jìn)一步包括有一個(gè)冷卻裝置，其設(shè)置于一個(gè)預(yù)設(shè)工作機(jī)臺(tái)上，該冷卻裝置設(shè)有輸入管及輸出管，且使輸出管相鄰于鎖片周圍，又冷卻裝置的輸入管與一個(gè)液體導(dǎo)管相連接，液體導(dǎo)管內(nèi)的液體由輸入管流入并由輸出管流出。

9.如權(quán)利要求8所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，該液體導(dǎo)管內(nèi)的液體為冷卻液。