[發(fā)明專利]用于激光材料加工的經(jīng)過色彩校正的F-θ物鏡無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210580074.8 | 申請日： | 2012-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN103323932A | 公開（公告）日： | 2013-09-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 約格·翁德里希;烏爾里希·克魯格 | 申請（專利權(quán)）人： | 業(yè)納光學(xué)系統(tǒng)有限公司 |
| 主分類號： | G02B13/00 | 分類號： | G02B13/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 鄧琪 |
| 地址： | 德國耶拿*** | 國省代碼： | 德國;DE |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 激光 材料 加工 經(jīng)過 色彩 校正 物鏡 | ||
1.一種經(jīng)過寬帶色彩校正的并且熱穩(wěn)定的F-θ物鏡，其特征在于，該F-θ物鏡包括六個獨(dú)立的透鏡，這些獨(dú)立的透鏡中具有一個作為雙凹透鏡的第一獨(dú)立的透鏡L1，一個作為凹凸透鏡的第二獨(dú)立的透鏡L2，一個作為雙凸透鏡的第三獨(dú)立的透鏡L3，一個作為平凸透鏡的第四獨(dú)立的透鏡L4，一個作為雙凸透鏡的第五獨(dú)立的透鏡L5以及一個作為雙凹透鏡的第六獨(dú)立的透鏡L6，其中對于這些獨(dú)立的透鏡使用了至少兩種不同的材料，這些材料對于1065nm到1075nm的波長范圍具有盡可能低的光吸收，并且這些材料具有的折光率在這個波長范圍內(nèi)隨溫度在相反的方向上變化。
2.如權(quán)利要求1所述的F-θ物鏡，其特征在于，該第一獨(dú)立的透鏡L1和第六獨(dú)立的透鏡L6的材料是石英玻璃，并且該第二至第五獨(dú)立的透鏡L2至L5的材料是氟化鈣。
3.如權(quán)利要求2所述的F-θ物鏡，其特征在于，這些獨(dú)立的透鏡L1到L6以及它們沿一個光軸的設(shè)置滿足以下要求：
其中r是這些透鏡L1到L6的光學(xué)活性表面的半徑和一個下游防護(hù)玻璃SG的光學(xué)活性表面的半徑；并且d是這些透鏡L1到L6、該防護(hù)玻璃SG、并且還有設(shè)置于該第一透鏡L1上游的一個入射光瞳EP以及設(shè)置于該防護(hù)玻璃SG下游的一個像場平面BE的厚度和距離；r和d是在光束穿過的方向上沿該光軸A進(jìn)行編號的。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于業(yè)納光學(xué)系統(tǒng)有限公司，未經(jīng)業(yè)納光學(xué)系統(tǒng)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210580074.8/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
