[發(fā)明專利]抗蝕劑添加劑及包含該抗蝕劑添加劑的抗蝕劑組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210575434.5
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN103186044A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓俊熙;朱炫相;金真湖;任鉉淳
• 申請（專利權(quán)）人: 錦湖石油化學(xué)株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 黃麗娟;陳英俊

1.一種抗蝕劑添加劑，由下式1表示：

其中，R′、R″和R″′各自獨(dú)立地選自氫原子、C1-C4烷基、鹵素基團(tuán)和其中一個氫原子被鹵素基團(tuán)取代的C1-C4鹵代烷基；

R₁和R₂各自獨(dú)立地是氫原子或C1-C8烷基；

R₃是氫原子或由下式2表示的官能團(tuán)：

其中，R₃₁是氫原子或是選自以下的羥基保護(hù)基：C1-C20烷基、(C1-C20烷氧基)烷基、C3-C30環(huán)烷基、甲酰基、(C1-C20烷基)羰基、(C3-C30環(huán)烷基)羰基、(C1-C20烷基)羧基和(C3-C30環(huán)烷基)羧基，R₃₂選自C1-C20亞烷基、C2-C20亞烯基、C1-C20雜亞烷基、C2-C20雜亞烯基、C3-C30環(huán)烷二基、C3-C30環(huán)烯二基、C2-C30雜環(huán)烷二基和C3-C30雜環(huán)烷二基，R₃₃是選自的酸不穩(wěn)定基團(tuán)，其中R_a、R_b、R_c和R_d各自獨(dú)立地選自C1-C20烷基、C3-C30環(huán)烷基、(C1-C10烷基)環(huán)烷基、羥烷基、C1-C20烷氧基、(C1-C10烷氧基)烷基、乙酰基、乙酰基烷基、羧基、(C1-C10烷基)羧基、(C3-C18環(huán)烷基)羧基和C3-C30雜環(huán)烷基，或R_a、R_b、R_c和R_d相鄰基團(tuán)之間稠合在一起形成C3-C30飽和或不飽和烴環(huán)或C2-C20雜環(huán)基，p是0～3的整數(shù)，q是0～10的整數(shù)；

R₄選自疏水性基團(tuán)和包含疏水性基團(tuán)的C1-C20烷基、C3-C30環(huán)烷基、酰基、羧基、(C1-C20烷基)羧基、(C3-C30環(huán)烷基)羧基、C1-C20雜烷基和C2-C30雜環(huán)烷基；

R₅是選自的酸不穩(wěn)定基團(tuán)，其中R_a、R_b、R_c和R_d各自獨(dú)立地選自C1-C20烷基、C3-C30環(huán)烷基、(C1-C10烷基)環(huán)烷基、羥烷基、C1-C20烷氧基、(C1-C10烷氧基)烷基、乙酰基、乙酰基烷基、羧基、(C1-C10烷基)羧基、(C3-C18環(huán)烷基)羧基和C3-C30雜環(huán)烷基，或R_a、R_b、R_c和R_d相鄰基團(tuán)之間稠合在一起形成C3-C30飽和或不飽和烴環(huán)或C2-C20雜環(huán)基，p是0～3的整數(shù)，q是0～10的整數(shù)，或R₅選自包含酸不穩(wěn)定基團(tuán)的C1-C20烷基、C3-C30環(huán)烷基、酰基、羧基、(C1-C20烷基)羧基、(C3-C30環(huán)烷基)羧基、(C1-C20烷基)羧烷基、C1-C20雜烷基和C2-C30雜環(huán)烷基；

l、m、n和o分別是主鏈中的重復(fù)單元的數(shù)目，其中l(wèi)+m+n+o=1,0<l/(l+m+n+o)<0.9，0<m/(l+m+n+o)≤0.2，0<n/(l+m+n+o)<0.9，0≤o/(l+m+n+o)<0.9。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑添加劑，其中，所述疏水性基團(tuán)選自鹵原子和C1-C20鹵代烷基。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑添加劑，其中，在式2中，R₃₁選自C1-C10烷基、(C1-C10烷氧基)烷基、C3-C14單環(huán)環(huán)烷基、C8-C18二環(huán)環(huán)烷基、C10-C30三環(huán)環(huán)烷基、C10-C30四環(huán)環(huán)烷基、甲酰基、(C1-C10烷基)羰基、(C3-C18環(huán)烷基)羰基、(C1-C10烷基)羧基和(C3-C18環(huán)烷基)羧基。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑添加劑，其中，在式2中，R₃₁選自甲酰基、乙酰基、甲氧基甲基、叔丁基羰基、叔丁氧基羰基、環(huán)己基羰基、環(huán)戊基羰基、環(huán)辛基羰基、金剛烷基羰基和雙環(huán)[2,2,1]庚基甲基羰基。