[發明專利]基于間接式微機械微波功率傳感器的頻率檢測裝置

有效

• 申請號: 201210574759.1
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN103076495A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 廖小平;崔焱
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R23/12
• 分類號: G01R23/12
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種基于間接式微機械微波功率傳感器的微波頻率檢測裝置，其特征在于，該檢測裝置包括

間接式微機械微波功率傳感器、功率分配器、功率合成器、傳輸線移相器、可調數字式移相器；其中，

將待測信號（V_x）加到功率分配器的輸入端口（7），待測信號（V_x）被等分為功率、頻率和相位均相同的第一路信號（V_x1）和第二路信號（V_x2），第一路信號（V_x1）加在傳輸線移相器的輸入端口（14），經移相后加在功率合成器的輸入端口一（17），第二路信號（V_x2）加在可調數字式移相器的輸入端口（11），經過可調數字式移相器（12）搬移一定的相位角度后加到功率合成器的輸入端口二（18）；這兩路信號經過功率合成器（19）進行矢量合成后到達功率合成器的輸出端口（20），然后加在間接式微機械微波功率傳感器的輸入端口（21）上。

2.根據權利要求1所述的基于間接式微機械微波功率傳感器的微波頻率檢測裝置，其特征在于，間接式微機械微波功率傳感器包括共面波導傳輸線（1），電阻（2），熱電堆（3），壓焊塊（4），薄膜（5）和砷化鎵襯底（6）；其中，

薄膜（5）設在襯底（6）的表面，共面波導傳輸線（1）、電阻（2）、熱電堆（3）、壓焊塊（4）分別設在薄膜（5）表面，共面波導傳輸線（1）與電阻（2）相連，熱電堆（3）與壓焊塊（4）相連，電阻（2）與熱電堆（3）相對設置且相距一定距離。

3.根據權利要求2所述的基于間接式微機械微波功率傳感器的微波頻率檢測裝置，其特征在于，襯底（6）為砷化鎵襯底，電阻（2）為氮化鉭電阻，薄膜（5）鋁鎵砷薄膜。

4.根據權利要求1所述的基于間接式微機械微波功率傳感器的微波頻率檢測裝置，其特征在于，通過傳輸線移相器在待測信號（V_x1）的相位的基礎上增加額外的與其長度ΔL有關的相位角度所搬移的相位角度與頻率成線性關系，是一個唯一的值。

5.根據權利要求4所述的基于間接式微機械微波功率傳感器的微波頻率檢測裝置，其特征在于，其特征在于，

由通過了傳輸線移相器的信號頻率、傳輸線長度和移相度三者之間的關系，即

便可以得知待測信號（V_x）的頻率f，f₀為傳輸線移相器的特定中心頻率，c為光速，ε_er為傳輸線移相器的有效介電常數，ΔL即二分之一波長。