[發(fā)明專利]一種熱銦封封接裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210563583.X
• 申請(qǐng)日: 2012-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN103123886A
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賽小鋒;韋永林;劉永安;盛立志;劉哲;趙寶升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): H01J9/26
• 分類號(hào): H01J9/26
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211
• 代理人: 王少文

1.一種熱銦封封接裝置，包括銦封室(A)，所述銦封室內(nèi)為真空狀態(tài)，所述銦封室內(nèi)的上方設(shè)置有上封接件放置裝置(B)，下方設(shè)置有載物平臺(tái)(3)，所述上封接件放置裝置(B)用于放置上封接件，所述載物平臺(tái)(3)用于放置下封接件，

其特征在于：還包括載物平臺(tái)的升降調(diào)節(jié)組件，所述升降調(diào)節(jié)組件包括安裝法蘭(4)、升降法蘭盤(8)、從動(dòng)升降機(jī)構(gòu)(9)及至少兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置在從動(dòng)升降機(jī)構(gòu)(9)周圍的主動(dòng)升降機(jī)構(gòu)(6)，

所述安裝法蘭(4)與銦封室底部的銦封室法蘭(F)固定連接，所述升降法蘭盤(8)位于安裝法蘭(4)下方且與安裝法蘭(4)平行，

所述主動(dòng)升降機(jī)構(gòu)(6)包括軸承定位塊(61)、升降螺桿(63)、螺桿導(dǎo)向套(64)、手輪(65)、軸承(62)，所述軸承定位塊(61)與安裝法蘭(4)下底面固定連接，所述螺桿導(dǎo)向套(64)與升降法蘭盤(8)連接，所述升降螺桿(63)的下端與升降手輪(65)固定連接，所述升降螺桿(63)的上端穿過螺桿導(dǎo)向套(64)伸入升降軸承定位塊(61)，所述升降螺桿(63)與螺桿導(dǎo)向套(64)螺紋連接，所述軸承(62)設(shè)置在升降螺桿(63)的上端部與軸承定位塊(61)之間，

所述從動(dòng)升降機(jī)構(gòu)(9)包括波紋管(5)、磁力轉(zhuǎn)動(dòng)桿(91)、限位管(96)、磁力轉(zhuǎn)動(dòng)部件，所述波紋管(5)密封連接在安裝法蘭(4)和升降法蘭盤(8)之間，所述限位管(96)的上端與升降法蘭盤(8)固定連接，所述限位管(96)的下端設(shè)置有密封堵頭，所述磁力轉(zhuǎn)動(dòng)桿(91)的下端抵在密封堵頭上，其上部依次穿過限位管(96)、升降法蘭盤(8)、波紋管(5)、安裝法蘭(4)后與載物平臺(tái)(3)固定連接；所述磁力轉(zhuǎn)動(dòng)部件包括套裝在限位管(96)外的磁力轉(zhuǎn)動(dòng)手柄(10)、位于限位管(96)內(nèi)且均勻設(shè)置在磁力轉(zhuǎn)動(dòng)桿(91)上與磁力轉(zhuǎn)動(dòng)桿連為一體的多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)塊(98)，所述相鄰兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)塊(98)之間放置有磁鐵(94)，所述磁力轉(zhuǎn)動(dòng)手柄(10)由磁鐵塊和金屬塊間隔組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱銦封封接裝置，其特征在于：還包括至少一個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(7)，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(7)包括導(dǎo)向套(72)及導(dǎo)向桿(71)，所述導(dǎo)向套(72)與升降法蘭盤(8)固定連接，所述導(dǎo)向桿(71)的上端與安裝法蘭(4)固定連接，其下端放置于導(dǎo)向套(72)內(nèi)且與導(dǎo)向套(72)滑動(dòng)配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱銦封封接裝置，其特征在于：還包括安裝于磁力轉(zhuǎn)動(dòng)桿(91)上的上軸承(95)、下軸承(97)及軸承定位環(huán)(93)，所述上軸承(95)及下軸承(97)分別位于磁力轉(zhuǎn)動(dòng)塊(98)上下兩側(cè)，所述軸承定位環(huán)(93)位于上軸承(95)和限位管(96)上端面之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱銦封封接裝置，其特征在于：所述主動(dòng)升降機(jī)構(gòu)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)間隔設(shè)置。