[發明專利]防止晶圓重疊的清洗槽出貨機構及其出貨方法

有效

• 申請號: 201210557404.1
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN103887207A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 康軍
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

1.一種防止晶圓重疊的清洗槽出貨機構，該出貨機構包含晶圓支架（2），套設在該晶圓支架（2）外的箱體（1），該出貨機構通信連接有出貨機構控制器；?

其特征在于，所述的箱體（1）上安裝有相對設置的傳感接收器（3）和傳感發射器（4），該傳感接收器（3）和傳感發射器（4）分別設置于晶圓支架（2）的兩側，傳感發射器（4）實時向傳感接收器（3）發送傳感信號，傳感接收器（3）將傳感信號傳輸至外接的主機構控制器；

當晶圓支架（2）上未放置晶圓（5），傳感接收器（3）接收到傳感信號并將該傳感信號傳輸至主機構控制器，主機構控制器判斷出貨機構中沒有晶圓（5）；

當晶圓支架（2）上放置有晶圓（5），晶圓（5）即阻斷傳感發射器（4）向傳感接收器（3）發送的傳感信號，主機構控制器未接收到該傳感信號并判斷出貨機構中放置有晶圓（5）。

2.如權利要求1所述的防止晶圓重疊的清洗槽出貨機構，其特征在于，所述的傳感接收器（3）和傳感發射器（4）之間傳感信號的傳輸路徑穿過所述出貨機構中放置晶圓的位置。

3.如權利要求1或3所述的防止晶圓重疊的清洗槽出貨機構，其特征在于，所述的箱體（1）由結構框架以及固定在結構框架上的板面組成。

4.如權利要求3所述的防止晶圓重疊的清洗槽出貨機構，所述的傳感接收器（3）和傳感發射器（4）都固定在所述箱體（1）的結構框架上。

5.如權利要求1所述的防止晶圓重疊的清洗槽出貨機構，其特征在于，所述的晶圓支架（2）的頂面設為下凹的圓弧形，該晶圓支架（2）頂面的形狀與晶圓（5）邊緣的形狀相適配。

6.一種適用于如權利要求1所述的防止晶圓重疊的清洗槽出貨機構的出貨方法，其特征在于，該方法包含以下步驟：

步驟1、傳感發射器（4）實時向傳感接收器（3）發射傳感信號，傳感接收器（3）將傳感信號傳輸至主機構控制器；

步驟2、出貨機構控制器向傳輸手臂控制電路發送晶圓（5）傳送請求信號；

步驟3、主機構控制器判斷傳感接收器（3）是否接收到傳感發射器（4）發送的傳感信號，若是，則主機構控制器判斷出貨機構中沒有晶圓（5），并跳轉到步驟4；若否，則主機構控制器判斷出貨機構中放置有晶圓（5），并跳轉到步驟5；

步驟4、主機構控制器傳輸出貨機構中沒有晶圓的信號至傳輸手臂控制電路，傳輸手臂控制電路響應出貨機構控制器的晶圓傳送請求信號，控制傳輸手臂將主機構中的晶圓（5）出貨至出貨機構，跳轉到步驟1；

步驟5、主機構控制器傳輸出貨機構中有晶圓的信號至傳輸手臂控制電路，傳輸手臂控制電路不響應出貨機構控制器的晶圓傳送請求信號，并進行告警，跳轉到步驟1。