[發(fā)明專利]電感耦合等離子體用天線單元和電感耦合等離子體處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210555679.1
• 申請(qǐng)日: 2012-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103167717A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 東條利洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H05H1/46
• 分類號(hào): H05H1/46;H01L21/67;C23C16/505
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種電感耦合等離子體用天線單元，其具有用于在等離子體處理裝置的處理室內(nèi)生成用于對(duì)基板進(jìn)行等離子體處理的電感耦合等離子體的高頻天線，其特征在于，

上述高頻天線包括：

第1天線，其呈螺旋狀，被供給第1高頻電力而形成感應(yīng)電場(chǎng)；

第2天線，其呈螺旋狀，與上述第1天線呈同心狀設(shè)置，被供給第2高頻電力而形成感應(yīng)電場(chǎng)；

隔離構(gòu)件，其配置在上述第1天線與上述第2天線之間，呈電接地的狀態(tài)或者浮置狀態(tài)，而且構(gòu)成閉合電路，用于將利用上述第1天線形成的磁場(chǎng)和利用上述第2天線形成的磁場(chǎng)分離開(kāi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述第1天線和第2天線中的至少一個(gè)天線構(gòu)成由多根天線用線卷繞成螺旋狀而成的多重天線，上述多根天線用線彼此在周向上錯(cuò)開(kāi)預(yù)定角度地配置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述基板呈矩形形狀，上述第1天線和第2天線呈與矩形形狀的基板相對(duì)應(yīng)的邊框狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述第1天線和第2天線中的至少一個(gè)天線具有與基板的互不相同的部分相對(duì)應(yīng)的多個(gè)區(qū)域，獨(dú)立地向上述多個(gè)區(qū)域供給高頻電力。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

該天線單元包括連接于用于向上述第1天線和第2天線供電的高頻電源的、具有從匹配器到上述第1天線和第2天線的供電路徑的供電部，形成有包含上述各天線和各供電部的第1天線電路和第2天線電路，該天線單元還包括阻抗控制部件，該阻抗控制部件用于控制上述第1天線電路和第2天線電路中的至少一個(gè)天線電路的阻抗，從而控制上述各天線中的電流值。

6.一種電感耦合等離子體用天線單元，其具有用于在等離子體處理裝置的處理室內(nèi)生成用于對(duì)基板進(jìn)行等離子體處理的電感耦合等離子體的高頻天線，其特征在于，

上述高頻天線包括：

多個(gè)天線，其呈螺旋狀，被供給高頻電力而形成感應(yīng)電場(chǎng)；

至少一個(gè)隔離構(gòu)件，其配置在上述多個(gè)天線中的相鄰的天線之間，呈電接地的狀態(tài)或者浮置狀態(tài)，而且構(gòu)成閉合電路，用于將利用上述相鄰的天線分別形成的磁場(chǎng)分離開(kāi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

該天線單元還包括：

供電通路，其自高頻電源經(jīng)過(guò)匹配器后被分支，用于向各天線供給電力；

阻抗控制部件，其用于控制經(jīng)由上述供電通路流向上述多個(gè)天線的電流值。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述多個(gè)天線呈同心狀配置，上述隔離構(gòu)件配置在該多個(gè)天線之間區(qū)域中的至少一個(gè)天線之間區(qū)域。

9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述多個(gè)天線并列配置，上述隔離構(gòu)件配置在上述多個(gè)天線中的相鄰的天線之間區(qū)域中的至少一個(gè)相鄰的天線之間區(qū)域。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述隔離構(gòu)件形成為連續(xù)的環(huán)狀。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述隔離構(gòu)件被分割成多個(gè)部分，上述多個(gè)部分中的與欲提高隔離效果的區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分經(jīng)由電容器接地。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述隔離構(gòu)件呈矩形形狀，按邊分割出上述多個(gè)部分，與上述欲提高隔離效果的區(qū)域相對(duì)應(yīng)的邊經(jīng)由電容器接地。

13.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述隔離構(gòu)件構(gòu)成為：具有多個(gè)部分，該多個(gè)部分分別接地，能夠拆除該多個(gè)部分中的一些部分并借助接地線形成閉合電路。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的電感耦合等離子體用天線單元，其特征在于，

上述隔離構(gòu)件呈矩形形狀，被分割成拐角部分和邊中央部分，這些部分成為上述多個(gè)部分。