[發(fā)明專利]基板傳送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210555398.6
• 申請(qǐng)日: 2012-12-19
• 公開（公告）號(hào): CN103177993A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁相熙;李基雄;金圣進(jìn);車恩熙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L33/00
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11270
• 代理人: 武晨燕;歸瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板傳送裝置，并且更具體地，涉及一種供應(yīng)或傳送有機(jī)發(fā)光二極管顯示器所用的基板進(jìn)出室時(shí)防止其表面在室中受損以避免基板缺陷的基板傳送裝置。

背景技術(shù)

通常，將具有長(zhǎng)邊和短邊的矩形玻璃基板用做用于平板顯示器設(shè)備(例如，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器)的基板。

這樣的玻璃基板經(jīng)受各種處理(包括清洗、激光退火、曝光和蝕刻)以被制成用于平板顯示器設(shè)備的基板。

玻璃基板通過供應(yīng)機(jī)器人被傳送到上述處理中的每個(gè)處理，并且被提供到用于進(jìn)行相應(yīng)處理的每個(gè)室的基板傳送裝置，支撐由供應(yīng)機(jī)器人傳送的玻璃基板。

標(biāo)題為“玻璃支撐系統(tǒng)及支撐銷結(jié)構(gòu)(Glass?Support?System?and?Support?PinStructure)”的韓國(guó)專利申請(qǐng)No.2006-0000008A(公布于2006年1月6日)公開了本發(fā)明的相關(guān)技術(shù)。

在相關(guān)技術(shù)中，因?yàn)橹位宓闹武N具有圓形的橫截面，所以基板因基板與支撐銷之間的摩擦所致色不均現(xiàn)象(mura?phenomenon)而受損。

因此，需要一種克服這種問題的基板傳送系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明被構(gòu)思為解決現(xiàn)有技術(shù)中的這種問題，并且本發(fā)明的一方面是提供一種基板傳送裝置，所述基板傳送裝置利用薄板支撐基板以防止基板受損。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，基板傳送裝置包括：基部，基板放置在所述基部上；支撐單元，所述支撐單元穿過所述基部以支撐所述基板；以及驅(qū)動(dòng)單元，所述驅(qū)動(dòng)單元用于向上或向下移動(dòng)所述支撐單元。

所述支撐單元可包括：定位單元，所述定位單元被放置在所述驅(qū)動(dòng)單元上并且通過所述驅(qū)動(dòng)單元向上或向下移動(dòng)；支柱單元，所述支柱單元被放置在所述定位單元上并且用于支撐所述基板；以及導(dǎo)向單元，所述導(dǎo)向單元被連接到所述定位單元上并且用于限制所述支柱單元的移動(dòng)。

所述定位單元可包括：定位板，所述定位板被放置在所述驅(qū)動(dòng)單元上并且在所述定位板的上表面上具有安裝凹槽；插入棒，所述插入棒從所述定位板的下表面向下突出；以及定位輥?zhàn)樱龆ㄎ惠佔(zhàn)訌乃龆ㄎ话宓乃鱿卤砻嫦蛳峦怀觥＿@里，所述安裝凹槽彎曲為在所述安裝凹槽的中心部位處具有最低點(diǎn)。

所述支柱單元可包括：支柱構(gòu)件，所述支柱構(gòu)件具有與所述安裝凹槽相對(duì)應(yīng)的彎曲表面；支柱凸臺(tái)，所述支柱凸臺(tái)從所述支柱構(gòu)件的上側(cè)向上突出并且在所述支柱凸臺(tái)上縱向形成有板凹槽；以及薄板，所述薄板被插入到所述板凹槽內(nèi)并且穿過所述基部以支撐所述基板。

所述薄板可具有0.5mm至1.5mm的厚度。

所述導(dǎo)向單元可包括：導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板被連接到所述定位板上并且配置為鄰近所述支柱構(gòu)件的對(duì)端(opposite?ends)；以及導(dǎo)向凸臺(tái)，所述導(dǎo)向凸臺(tái)從所述導(dǎo)向板突出并且配置為鄰近所述支柱凸臺(tái)。

所述驅(qū)動(dòng)單元可包括：固定板，所述固定板具有導(dǎo)向管，所述插入棒插入在所述導(dǎo)向管內(nèi)；軌道，所述軌道被配置在所述固定板上；斜板，所述斜板沿所述軌道移動(dòng)并且具有與所述定位輥?zhàn)咏佑|的斜面；以及長(zhǎng)度調(diào)節(jié)器，所述長(zhǎng)度調(diào)節(jié)器被固定到所述固定板上并且被連接到所述斜板上以具有可變長(zhǎng)度。

在根據(jù)本發(fā)明的基板傳送裝置中，將薄板與基板接觸以最小化基板的接觸面積，從而防止基板因色不均現(xiàn)象而受損。

在本發(fā)明的基板傳送裝置中，具有彎曲表面的支柱構(gòu)件被插入到安裝凹槽內(nèi)并且借助支柱構(gòu)件的重量保持平衡，從而防止薄板和基部之間的干涉。

附圖說明

根據(jù)結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例進(jìn)行的以下描述，本發(fā)明的上述及其他方面、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得明顯，其中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的基板傳送裝置的示意圖，其中，基板被放置在基板傳送裝置的基部上；

圖2是根據(jù)本發(fā)明的該實(shí)施例的基板傳送裝置的示意圖，其中，基板與基部分離；

圖3是根據(jù)本發(fā)明的該實(shí)施例的基板傳送裝置的定位單元的示意圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明的該實(shí)施例的基板傳送裝置的支撐單元的示意圖；

圖5是圖4的導(dǎo)向單元的示意圖；以及

圖6是根據(jù)本發(fā)明的該實(shí)施例的基板傳送裝置的支撐單元的示意性的截面圖。

具體實(shí)施方式