[發明專利]新型串聯式線圈電磁能量采集器

有效

• 申請號: 201210551994.7
• 申請日: 2012-12-18
• 公開（公告）號: CN103011061A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 張海霞;李忠亮;韓夢迪
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;H02K35/02;C25D3/56
• 代理公司: 北京市商泰律師事務所 11255
• 代理人: 毛燕生

1.一種采用微納加工技術來制備電磁式能量采集器的方法，其特征在于按順序包括以下步驟：

（A）任選的處理基底；

（B）電鍍Cu線圈；

（C）電鍍Cu支撐柱；

（D）電鍍Cu振動板與折形梁；

（E）電鍍永磁體陣列；

（F）去膠，去種子層切割得到電磁式能量采集器。

2.根據權利要求1所述的電磁式能量采集器的制備方法，其中步驟（A）包括在潔凈的晶片上雙面氧化氧化硅，厚度為100-500nm。

3.根據權利要求1所述的電磁式能量采集器的制備方法，其中步驟（B）包括：

（B1）濺射Ti/Cu種子層，Ti層厚度為10-50nm，Cu層厚度為100-500nm；

（B2）厚膠光刻出線圈圖形，厚度為5-15μm;

（B3）配制Cu電鍍液；

（B4）調整電鍍參數進行Cu線圈的電鍍。

4.根據權利要求1所述的電磁式能量采集器的制備方法，其中步驟（C）包括：

（C1）對準光刻出支撐柱圖形，厚度為5-15μm；

（C2）調整電鍍參數進行Cu支撐柱的電鍍。

5.根據權利要求1所述的電磁式能量采集器的制備方法，其中步驟（D）包括：

（D1）濺射Ti/Cu種子層，Ti層厚度為10-50nm，Cu層厚度為100-500nm；

（D2）對準光刻出振動板與折形梁圖形，厚度為5-15μm；

（D2）調整電鍍參數進行Cu振動板與折形梁的電鍍。

6.根據權利要求1所述的電磁式能量采集器的制備方法，其中步驟（E）包括:

（E1）對準光刻出永磁體陣列圖形，厚度為5-15μm；

（E2）調整電鍍參數進行永磁體陣列的電鍍。

7.根據權利要求3-5之一所述的電磁式能量采集器的制備方法，電鍍Cu的參數設置包括電流密度、脈沖頻率、占空比、電鍍時間。

8.根據權利要求1-6之一所述的電磁式能量采集器的制備方法，電鍍永磁體的裝置包括兩塊置于電鍍液兩側的磁鐵塊；永磁體成分為CoNiMnP合金，電鍍液配方為：CoCl₂·6H2O：24g/L，NiCl₂·6H₂O：24g/L，MnSO₄·H₂O：3.4g/L，NaH₂PO₂：4.4g/L，H₃BO₃：25g/L，NaCl：24g/L，C₁₂H₂₅O₄NaS：0.3g/L，糖精：0.9g/L。

9.根據權利要求1-6之一所述的電磁式能量采集器的制備方法，永磁體與Cu線圈的擺放位置為垂直重合，以便于線圈能夠有效切割磁場。

10.一種電磁式能量采集器，其特征在于采用權利要求1-9之一所述的方法制備得到。

11.一種權利要求10所述的電磁式能量采集器的用途，其特征在于針對環境中普遍存在的低頻振動進行有效的采集和儲存，作為物聯網的能量來源。