[發明專利]一種基于圓偏振激光驅動的極紫外光刻光源產生系統

有效

• 申請號: 201210551511.3
• 申請日: 2012-12-18
• 公開（公告）號: CN103048889A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 易翔宇;王新兵;左都羅;盧宏;朱海紅;陸培祥
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 朱仁玲

1.一種基于圓偏振激光驅動的極紫外光刻光源產生系統，該系統包括CO₂激光器（1）、偏振轉換組件（3）、激光放大器（5）以及極紫外光產生與收集裝置，其特征在于：

所述CO₂激光器（1）用于產生線偏振的主振激光束，所述偏振轉換組件（3）用于將該主振激光束轉換為圓偏振激光，該圓偏振激光經由所述激光放大器（5）予以功率放大處理后，輸出至極紫外光產生與收集裝置；

所述極紫外光產生與收集裝置用于將來自所述功率放大器（5）的激光聚焦照射至Sn靶材處以激發等離子體，并對該等離子體所產生的極紫外輻射予以收集。

2.一種基于圓偏振激光驅動的極紫外光刻光源產生系統，該系統包括圓偏振CO2激光器（1）、激光放大器（3）以及極紫外光產生與收集裝置，其特征在于：

所述圓偏振CO2激光器（1）產生圓偏振的主振激光束，該圓偏振激光經由所述激光放大器（3）予以功率放大處理后，輸出至極紫外光產生與收集裝置；

所述極紫外光產生與收集裝置用于將來自所述功率放大器（3）的激光聚焦照射至Sn靶材處以激發等離子體，并對該等離子體所產生的極紫外輻射予以收集。

3.如權利要求1或2所述的極紫外光刻光源產生系統，其特征在于，所述CO₂激光器（1）為脈寬30ns、輸出波長為10.6μm的射頻機理波導CO₂激光器。

4.如權利要求3所述的極紫外光刻光源產生系統，其特征在于，所述主振激光束的重復頻率被設定為10KHz，脈沖能量為100mJ，脈沖寬度為50ns。

5.如權利要求1所述的極紫外光刻光源產生系統，其特征在于，所述偏振轉換組件（3）為原偏振片。

6.如權利要求1-5任意一項所述的極紫外光刻光源產生系統，其特征在于，所述激光放大器（5）譬如由2臺連續輸出功率為4000W的工業級射頻軸快流激光器共同組成。

7.如權利要求1-6任意一項所述的極紫外光刻光源產生系統，其特征在于，所述極紫外光產生與收集裝置包括內部為真空腔（12）的殼體（11），設置在殼體（11）一側用于供來自激光放大器的激光束進入的入射窗口（7）、設置在真空腔（12）中并處于激光束入射方向上的聚焦透鏡（8）、設置在真空腔中的多個Sn靶材（9），以及同樣設置在真空腔中并呈球面鏡形式的極紫外光收集單元（10）。