[發明專利]一種膜固化裝置

有效

• 申請號: 201210540488.8
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN103008203A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 任文明
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B05D3/02
• 分類號: B05D3/02;B05D3/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及液晶顯示制造技術領域，特別涉及一種膜固化裝置。

背景技術

膜固化是指將涂覆在基板上的光刻膠或取向膜等加熱發生化學反應的過程，包括加熱和冷卻兩個階段，分別在加熱爐和冷卻爐完成的；具體地，首先將涂覆有光刻膠或取向膜的基板放置在加熱爐中加熱，使光刻膠或取向膜發生反應，然后再將該基板放置在冷卻爐中冷卻固化。

不過，現有的加熱爐采用熱傳導的方式加熱，加熱到230℃要需25分鐘左右，加熱時間較長，而且在加熱爐中完成加熱后，還要放進冷卻爐進行冷卻，需要一定的周轉時間；因此，利用加熱爐和冷卻爐進行膜固化的過程耗時長，膜固化的效率低。

發明內容

本發明的目的在于提供一種膜固化裝置，用于提高膜固化的效率。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種膜固化裝置，包括：具有爐腔的爐體；設置在所述爐體上的爐門；設置在所述爐腔內的微波加熱單元；與所述微波加熱單元信號連接，用于控制微波強度和加熱時間的控制單元；以及設置在所述爐腔內的進排氣單元。

優選地，所述進排氣單元包括：

固定安裝在所述爐腔頂部，用于使氣體進入所述爐腔內的進氣子單元；

以及固定安裝在所述爐腔頂部，用于將進入所述爐腔內的氣體排出的排氣子單元。

優選地，所述控制單元為可編程邏輯控制器。

優選地，所述微波加熱單元固定安裝在所述爐腔頂部。

進一步地，上述膜固化裝置還包括：固定安裝在所述爐腔底部的支撐單元。

優選地，所述支撐單元為多個玻璃支撐管或多個陶瓷支撐管。

優選地，所述支撐管的高度小于5cm。

進一步地，上述膜固化裝置還包括：設置在所述爐門四周，用于吸收從所述爐門與所述爐體之間的縫隙泄漏的微波的門封條。

優選地，所述門封條為硅橡膠門封條。

進一步地，上述膜固化裝置還包括：設置在爐門上的聯鎖微動開關。

本發明提供的膜固化裝置，采用微波加熱的方式進行加熱，是利用微波對分子中極性基團的獨特作用，即微波透入被加熱物料內與被加熱物料中的極性分子間相互作用轉化為熱能，使被加熱物料各部分在同一瞬間獲得熱量而升溫，無需任何熱傳導過程就能使被加熱物料內部和外部同時加熱、同時升溫；與現有的采用熱傳導加熱方式相比，能夠在較短的時間內使被加熱物料達到設定的溫度；另外，本發明提供的膜固化裝置還可以對被加熱物料進行快速冷卻，減少了從加熱爐周轉到冷卻爐的周轉時間；因此，與現有技術相比，利用本發明提供的膜固化裝置進行膜固化，減少加熱時間和周轉時間，從而提高了膜固化的效率。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的一種膜固化裝置的結構示意圖；

圖2為本發明實施例提供的微波加熱時間和亞酰化度的關系圖。

具體實施方式

現有的膜固化過程，一般采用熱傳導的加熱方式進行膜固化，加熱時間較長，而且，在加熱完成后還要在冷卻爐中進行冷卻，需要一定的周轉時間，因此，利用加熱爐和冷卻爐進行膜固化的過程耗時長，膜固化效率低。

有鑒于此，本發明提供了一種改進的技術方案，采用微波加熱的方式進行膜固化，將縮短加熱的時間；并將加熱和冷卻設置在同一裝置內，減少了周轉時間，從而提高了膜固化的效率。

為了使本領域技術人員更好的理解本發明的技術方案，下面結合說明書附圖對本發明實施例進行詳細的描述。

首先申明，在液晶顯示制造技術領域，膜固化包括：光刻膠固化、取向膜固化及封框膠固化等，為了描述方便，下文將以取向膜固化為例進行說明。

如圖1所示，本發明提供的一種膜固化裝置，包括：具有爐腔的爐體10，設置在爐體10上的爐門11，設置在爐腔內的微波加熱單元13；與微波加熱單元13信號連接，用于控制微波強度和加熱時間的控制單元（圖中未畫出）；以及設置在爐腔內的進排氣單元14。

具體地，采用微波加熱的方式，是利用微波對分子中極性基團的獨特作用，即微波透入取向膜內與取向膜的極性分子間相互作用轉化為熱能，使取向膜各部分都在同一瞬間獲得熱量而升溫完成聚酰胺酸亞酰化反應；如圖2所示，在聚酰胺酸亞酰化反應中，微波加熱時間7min內亞酰化度能達到91%，而常規加熱5小時亞酰化度才能達到57%，可見，采用微波加熱的方式進行膜固化，加熱速度快，聚酰胺酸亞酰化反應完全，從而顯著提高了膜固化的效率。