[發明專利]一種高效淺結太陽能電池的擴散工藝

無效

• 申請號: 201210534180.2
• 申請日: 2012-12-12
• 公開（公告）號: CN102969405A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 魯偉明;初仁龍;費存勇;王志剛
• 申請（專利權）人: 泰通（泰州）工業有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C30B31/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

1.一種高效淺結太陽能電池的擴散工藝，其特征是，包括以下步驟：

a.將清洗制絨后的硅片放入管式擴散爐中；

b.升溫至800-860^?oC，通入攜帶有POCl₃的N₂和O₂，保持一定的時間；

c.控制溫度在800-860^?oC，停止通入攜帶有POCl₃的N₂，保持一定的時間；

d.降低溫度至室溫，取出硅片，擴散完畢。

2.根據權利要求1?所述的高效淺結太陽能電池的擴散工藝，其特征是，所述步驟b中，攜帶POCl₃的N₂和O₂的流量比為6:1-1:3，時間為10-60min。

3.根據權利要求1?所述的高效淺結太陽能電池的擴散工藝，其特征是，所述步驟c中時間為0-60min。

4.根據權利要求1?所述的高效淺結太陽能電池的擴散工藝，其特征是，所述擴散后的方塊電阻為80Ω-120Ω/口，結深為0.1-0.25μm，?磷原子的表面濃度為1.0x1020cm^-3至10.0×10²⁰?cm^-3。