[發明專利]一種具有雙壓平衡結構的增壓高溫氮化裝置

有效

• 申請號: 201210530358.6
• 申請日: 2012-12-11
• 公開（公告）號: CN103045990A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 傅萬堂;王博;趙品;付瑞東;鄭煬曾;劉天洋
• 申請（專利權）人: 燕山大學
• 主分類號: C23C8/24
• 分類號: C23C8/24
• 代理公司: 石家莊一誠知識產權事務所 13116
• 代理人: 崔鳳英

1.一種具有雙壓平衡結構的增壓高溫氮化裝置，主體結構包括爐蓋、爐膽和爐殼，爐蓋與爐膽相連，爐膽與爐殼相連，其特征在于，爐蓋（13）裝有與NH₃瓶（1）及N₂瓶（2）連接的充氣管道（7），所述充氣管道延伸至爐膽反應室（17），所述爐膽反應室被發熱爐管（19）嵌套，所述發熱爐管底部由陶瓷底座（20）支撐，測溫裝置經所述陶瓷底座及發熱爐管底部中心孔引入，爐膽（14）上端設有真空泵（6）及排氣管道（9），爐膽排氣端接有流量監測計（4），爐膽上下法蘭盤之間設有循環水套（32），爐殼（21）下端裝有與Ar瓶（3）連接的充氣管道（8），所述爐殼上端裝有與廢氣收集系統（5）連接的排氣管道（10），所述爐膽及爐殼排氣端分別設有壓力測量裝置。

2.根據權利要求1所述的氮化裝置，其特征在于：所述爐膽（14）由上爐膽和爐膽反應室（17）組成，所述爐膽反應室頂部設有保溫蓋（18）。

3.根據上述權利要求任一項所述的氮化裝置，其特征在于：所述爐蓋（13）通過爐膽上法蘭盤通孔（34）與爐膽（14）相連接，爐膽上法蘭盤（15）內圈設有保證爐膽密封性的塑膠墊圈（33）。

4.根據上述權利要求任一項所述的氮化裝置，其特征在于：所述爐膽（14）嵌套在爐殼（21）內，爐膽與爐殼的裝配依靠爐膽下法蘭盤（16）和爐殼頂部法蘭盤（22）的連接，兩法蘭間放置聚四氟乙烯墊圈，通過高強螺栓（35）連接。

5.根據上述權利要求任一項所述的氮化裝置，其特征在于：所述爐殼（21）內壁放置保溫磚隔層（25），其余空間由爐殼保溫棉（26）填充。

6.根據上述權利要求任一項所述的氮化裝置，其特征在于：所述發熱爐管（19）管身纏繞216Nb爐絲，爐絲兩端通過銅螺栓分別連接火線和零線，兩電源線均套有絕緣套，在偏離爐膽且不接觸爐殼內壁的條件下穿過保溫棉，并經由爐殼底部法蘭接線柱引出。

7.根據上述權利要求任一項所述的測溫裝置由鉑銠熱電偶、陶瓷套管及控溫儀表組成，電偶測溫點靠近爐膽反應室底部，電偶引線（29）經由爐殼底部法蘭接線柱引出。

8.根據上述權利要求任一項所述的氮化裝置，其特征在于：壓力測量裝置包括爐膽及爐殼所連接壓力表，爐膽連接壓力表選取NH₃用壓力表，爐殼連接壓力表選取Ar壓力表。