[發(fā)明專利]太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)及其獲得三維圖像的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210525891.3
• 申請(qǐng)日: 2012-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN103163145A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田東錫;姜光鏞;柳漢哲;金濟(jì)河
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 韓國(guó)電子通信研究院
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 李芳華

1.一種太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，包括：

太赫茲波發(fā)生器，用于生成太赫茲連續(xù)波；

非破壞性檢測(cè)器，用于通過(guò)向樣本發(fā)射所生成的太赫茲連續(xù)波、并在按照預(yù)定間隔二維移動(dòng)該樣本的同時(shí)控制所發(fā)射的太赫茲連續(xù)波的焦點(diǎn)，來(lái)測(cè)量太赫茲連續(xù)波的改變；和

三維圖像處理器，用于通過(guò)使用與所測(cè)量的太赫茲連續(xù)波對(duì)應(yīng)的二維圖像來(lái)獲得三維圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器傳送所發(fā)射的太赫茲連續(xù)波。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器使用孔徑來(lái)控制所發(fā)射的太赫茲連續(xù)波的焦點(diǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器使用共焦針眼來(lái)控制所發(fā)射的太赫茲連續(xù)波的焦點(diǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器進(jìn)一步包括鏡頭盒，該鏡頭盒包括多個(gè)鏡頭，用于控制所發(fā)射的太赫茲連續(xù)波的焦點(diǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器進(jìn)一步包括聚乙烯鏡頭以獲得對(duì)焦平面。

7.根據(jù)權(quán)利要求4的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器進(jìn)一步包括金屬材料鏡頭盒，該金屬材料鏡頭盒包括用于獲得對(duì)焦平面的聚乙烯鏡頭、和用于控制所發(fā)射的太赫茲連續(xù)波的焦點(diǎn)的多個(gè)金屬材料鏡頭。

8.根據(jù)權(quán)利要求1的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器是太赫茲波顯微鏡。

9.根據(jù)權(quán)利要求1的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器反射所發(fā)射的太赫茲連續(xù)波。

10.根據(jù)權(quán)利要求9的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該非破壞性檢測(cè)器包括太赫茲波布置檢測(cè)器，并且

其中在該太赫茲波布置檢測(cè)器中，電子束穿過(guò)太赫茲鏡頭和天線陣列，并然后由檢測(cè)器陣列感測(cè)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該天線陣列包括太赫茲波區(qū)域的至少一個(gè)天線和用于檢測(cè)太赫茲波的肖特基二極管。

12.根據(jù)權(quán)利要求1的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該太赫茲波發(fā)生器色散反饋激光器生成具有不同頻率的光學(xué)信號(hào)，以生成光學(xué)外差方法的太赫茲連續(xù)波。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該太赫茲波發(fā)生器進(jìn)一步包括反饋控制系統(tǒng)，用于使得該色散反饋激光器穩(wěn)定化。

14.根據(jù)權(quán)利要求1的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)，其中該三維圖像處理器進(jìn)一步包括模式鎖定放大器，用于測(cè)量與從該非破壞性檢測(cè)器接收的太赫茲連續(xù)波對(duì)應(yīng)的細(xì)小電流。

15.一種太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)的獲得三維圖像的方法，包括：

生成太赫茲連續(xù)波；

向樣本發(fā)射所生成的太赫茲連續(xù)波；

在按照預(yù)定間隔移動(dòng)該樣本的同時(shí)改變?cè)撎掌澾B續(xù)波的焦點(diǎn)；

測(cè)量該太赫茲連續(xù)波的改變；

獲得與所測(cè)量的該太赫茲連續(xù)波的改變對(duì)應(yīng)的二維圖像；

使用該二維圖像來(lái)獲得二維深度圖像；和

使用該二維深度圖像來(lái)獲得三維圖像。

16.根據(jù)權(quán)利要求15的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)的獲得三維圖像的方法，其中進(jìn)一步包括根據(jù)所獲得的三維圖像的深度修剪該三維圖像。

17.根據(jù)權(quán)利要求15的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)的獲得三維圖像的方法，進(jìn)一步包括對(duì)于所獲得的三維圖像執(zhí)行去卷積。

18.根據(jù)權(quán)利要求15的太赫茲連續(xù)波系統(tǒng)的獲得三維圖像的方法，其中所述獲得三維圖像的步驟包括：

對(duì)于該二維深度圖像執(zhí)行三維笛卡爾積分；

對(duì)于該笛卡爾積分后的圖像執(zhí)行三維可視化；和

處理所述三維可視化后的圖像。