[發明專利]壓電馬達、驅動裝置、電子部件輸送裝置及檢查裝置

無效

• 申請號: 201210521331.0
• 申請日: 2012-12-06
• 公開（公告）號: CN103151958A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 西村義輝
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02;H02N2/04;G01R31/00;B65G47/74
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;王軼

技術領域

本發明涉及壓電馬達、驅動裝置、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機械手以及機器人。

背景技術

公知有使由壓電材料形成的部件（振動體）振動來驅動對象物的壓電馬達。該壓電馬達具有如下特征：與利用電磁力來使轉子旋轉的方式的電磁馬達相比，該壓電馬達的體型小、且能夠得到大的驅動力，進而，能夠以高分辨率定位對象物。因此，例如作為照相機的驅動機構等各種裝置的致動器而被使用。

壓電馬達以如下的原理進行動作。首先，將振動體（壓電材料）形成為近似長方體形狀，并在長邊方向的端面設置凸部。進而，對振動體施加規定頻率的電壓，從而同時產生振動體伸縮的方式的振動和振動體彎曲的方式的振動。這樣，振動體的端面開始進行朝一個方向旋轉的橢圓運動。因此，通過將設置于端面的凸部按壓于對象物，能夠利用在凸部與對象物之間作用的摩擦力使對象物朝一定方向移動。

根據這樣的動作原理，壓電馬達需要在將設置于振動體的端面的凸部按壓于對象物的狀態下使用。并且，需要保持振動體，以免在驅動對象物時振動體因凸部從對象物受到的反作用力而脫離。然而，必須允許振動體以凸部進行橢圓運動的方式振動。因此，提出了如下技術：將振動體以使凸部突出的狀態收納于保持殼體，在該保持殼體內，使用彈性部件從彎曲方向支承振動體的兩側，并且對振動體連同保持殼體朝對象物施力。

專利文獻1：日本特開平11－346486號公報

但是，近年來，對搭載有壓電馬達的裝置的小型化以及性能提高的要求日益增高，伴隨與此，也要求壓電馬達實現進一步的小型化以及驅動精度的提高。

并且，存在難以高效地將振動體所產生的能量利用于對象物的驅動的問題。這是由于如下原因：由于從彎曲方向支承振動體的兩側，因此，振動體的振動易于經由保持殼體傳遞到外部，傳遞到外部的振動無法利用于驅動對象物。

發明內容

本發明是為了解決現有技術所具有的上述課題中的至少一部分而完成的，其目的在于提供能夠使壓電馬達小型化并提高驅動精度的技術，或者提供能夠高效地驅動對象物的技術。

為了解決上述課題的至少一部分，本發明的壓電馬達采用了如下結構。即，該壓電馬達的特征在于，通過使包含壓電材料的振動體振動，并使突出設置于振動體的端面的凸部與對象物接觸，來使對象物移動，其中，該壓電馬達具備：振動體殼體，該振動體殼體收納振動體；基臺，在該基臺設置有滑動部，且振動體殼體安裝于基臺，振動體殼體在滑動部滑動；加壓彈性體，該加壓彈性體對從振動體殼體突出的凸部朝對象物的方向施力；以及側壓彈性體，該側壓彈性體從與振動體殼體的滑動方向交叉的方向對振動體殼體朝基臺的滑動部施力，側壓彈性體的與振動體殼體接觸的一側的端面與振動體殼體嵌合。

在這種結構的壓電馬達中，通過在使振動體的凸部連同振動體殼體一起與對象物接觸的狀態下使振動體振動，能夠使對象物移動。并且，由于利用側壓彈性體將振動體殼體按壓于基臺的滑動部，因此，在驅動對象物時，振動體不會因凸部從對象物受到的反作用力而脫離。這里，振動體殼體能夠在相對于對象物接近或遠離的方向上滑動。不僅如此，從與振動體殼體的滑動方向交叉的方向將振動體殼體按壓于滑動部的側壓彈性體的與振動體殼體接觸的一側的端面與振動體殼體嵌合。