[發明專利]半導體器件的檢查裝置和其所使用的吸盤臺

有效

• 申請號: 201210518234.6
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN103135046A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 安田勝男;增田光;根井秀樹
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/067;G01R1/02
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 肖華

1.一種半導體器件的檢查裝置，其特征在于，具有：表面電極用探針以及背面電極用探針、和能夠相對于所述表面電極用探針以及背面電極用探針相對移動的吸盤臺，在所述吸盤臺的上表面，對成為檢查對象的晶片進行保持的晶片保持部、和包含與被保持在所述晶片保持部上的最大的晶片相同形狀且相同大小的區域的導電性的探針接觸區域以相互的區域不重疊的形態相鄰地配置，所述晶片保持部中的與晶片背面接觸的接觸部為導電性的，所述探針接觸區域與所述晶片保持部中的所述接觸部電導通，所述表面電極用探針和所述背面電極用探針在水平方向上相互隔著距離地配置，以使得在使所述吸盤臺移動且所述表面電極用探針在檢查對象晶片內相對地移動時，所述背面電極用探針在所述探針接觸區域內相對地移動。

2.如權利要求1所述的半導體器件的檢查裝置，其特征在于，所述表面電極用探針以及所述背面電極用探針分別具有1根或多根驅動用探針和1根或者多根感應用探針。

3.如權利要求2所述的半導體器件的檢查裝置，其特征在于，具有沿著連接所述表面電極用探針和所述背面電極用探針的直線與所述吸盤臺的上表面平行地配置的驅動用導電性構件，所述驅動用導電性構件的所述表面電極用探針側的一端與所述表面電極用探針中的所述1根或多根驅動用探針連接，另一端與測試器連接。

4.如權利要求3所述的半導體器件的檢查裝置，其特征在于，所述驅動用導電性構件為板狀的導電性構件。

5.如權利要求1至4中任一項所述的半導體器件的檢查裝置，其特征在于，所述吸盤臺的上表面由導電性的材料構成，由導電性的材料構成的所述上表面的一部分構成所述晶片保持部中的所述接觸部，其他的一部分形成所述探針接觸區域。

6.如權利要求1至4中任一項所述的半導體器件的檢查裝置，其特征在于，所述吸盤臺的上表面由導電性的材料構成，由導電性的材料構成的所述上表面的一部分構成所述晶片保持部中的所述接觸部，被載置在其他的一部分上的導電性薄板形成所述探針接觸區域。

7.如權利要求1至4中任一項所述的半導體器件的檢查裝置，其特征在于，所述吸盤臺的上表面被分割為從所述晶片保持部朝向所述探針接觸區域的相互平行的多個長條狀部分，所述多個長條狀部分由交替配置的導電性構件和絕緣性構件構成，多個所述導電性構件的上表面的一部分構成所述晶片保持部的所述接觸部，其他的一部分構成所述探針接觸區域。

8.一種吸盤臺，其特征在于，對成為檢查對象的晶片進行保持的晶片保持部、和包含與被保持在所述晶片保持部上的最大的晶片相同形狀且相同大小的區域的導電性的探針接觸區域，以相互的區域不重疊的形態并列設置在所述吸盤臺的上表面上，所述晶片保持部中的與晶片背面接觸的接觸部為導電性的，所述探針接觸區域與所述晶片保持部中的所述接觸部電導通。

9.如權利要求8所述的吸盤臺，其特征在于，所述吸盤臺的上表面被分割為從所述晶片保持部向所述探針接觸區域延伸的相互平行的多個長條狀部分，所述多個部分由交替配置的導電性構件和絕緣性構件構成，多個所述導電性構件的上表面的一部分構成所述晶片保持部的所述接觸部，其他的一部分構成所述探針接觸區域。