[發明專利]坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置

有效

• 申請號: 201210509805.X
• 申請日: 2012-12-03
• 公開（公告）號: CN103046115A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 臧春雨;臧春和;姜曉光;李毅;葛濟銘;萬玉春;賈志旭
• 申請（專利權）人: 長春理工大學
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.一種坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置，其特征在于，升降桿（1）下端的活塞（2）位于液壓缸（3）中；位于液壓缸（3）底部的滴油閥（4）一端通向液壓缸（3）內部，另一端通向儲油槽（5）；安裝在臨近升降桿（1）側壁處的位移傳感器（6）與降速控制器（7）連接，降速控制器（7）與滴油閥（4）的控制部分連接。

2.根據權利要求1所述的坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置，其特征在于，在升降桿（1）上添加有配重。

3.根據權利要求1所述的坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置，其特征在于，所述滴油閥（4）是一種能夠控制流量的調速閥，該調速閥具有不論載荷壓力如何變化始終保持通過閥門的流體按照給定流量的大小流過的特性。

4.根據權利要求1所述的坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置，其特征在于，所述的位移傳感器（6）采用光柵尺位移傳感器，其光柵主尺垂直安裝在升降桿（1）側壁上，讀數頭臨近光柵主尺。

5.根據權利要求1所述的坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置，其特征在于，所述降速控制器（7）是一種可編程邏輯控制器，它通過內部的微處理器比較由光柵尺位移傳感器讀數頭輸出的位移信號與微處理器按照給定的坩堝下降時間和速度計算出的位移信號，計算應修正的液壓油在滴油閥（4）中的流量，將該流量信號傳遞給滴油閥（4）的控制部分，使坩堝按照給定速度下降。

6.根據權利要求1所述的坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置，其特征在于，位于液壓缸（3）底部的放油閥（10）一端通向液壓缸（3）內部，另一端通向儲油槽（5）。

7.根據權利要求1所述的坩堝下降法晶體生長爐的下降裝置，其特征在于，位于液壓缸（3）底部的注油閥（11）一端通向液壓缸（3）內部，另一端接油泵（12），油泵（12）的另一端通向儲油槽（5）。