[發明專利]一種鉬鈦合金靶材的制備方法

無效

• 申請號: 201210497167.4
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN103060760A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 白鋒;于洋;賴亞洲;彭福生;莊志剛;宋久鵬;石濤;王帆;鄭艾龍
• 申請（專利權）人: 廈門虹鷺鎢鉬工業有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/16;C22C27/04;C22C1/04
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 連耀忠

1.一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

（1）將鉬粉、鈦粉和成形劑充分混合，得到鉬鈦合金粉末；

（2）將步驟（1）所得鉬鈦合金粉末冷壓得預成形坯；

（3）將步驟（2）所得預成形坯進行真空熱壓成形，冷卻后得燒結毛坯；

（4）將步驟（3）的燒結毛坯切割后即得鉬鈦合金靶材。

2.如權利要求1所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述鉬粉的費氏平均粒度為1.0μm~10.0μm，純度為99.99%；所述鈦粉的費氏平均粒度為20μm~100μm，純度為99.99%。

3.如權利要求2所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）為：按5~9:4.5~1的重量比稱取鉬粉和鈦粉，加入成形劑后，送入V形混料器中，在氬氣氣氛下以10r/min~20r/min的速度混合10~20小時。

4.如權利要求3所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述成形劑為精煉石蠟，其加入量為鉬粉和鈦粉總質量的1%~5%。

5.如權利要求4所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述成形劑為精煉石蠟，其加入量為鉬粉和鈦粉總質量的2.5~3.5%。

6.如權利要求1所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）為將步驟（2）所得預成形坯先加熱至成形劑揮發溫度，并保溫至成形劑揮發，再加熱至鈦的熔融溫度并加壓使產品成形，隨爐冷卻后得燒結毛坯。

7.如權利要求6所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述成形劑為精煉石蠟，其揮發溫度為500~550℃。

8.如權利要求6所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述鈦的熔融溫度為1650~1700℃。

9.如權利要求6所述的一種鉬鈦合金靶材的制備方法，其特征在于：所述加壓為加壓至30~50MPa。