[發(fā)明專利]一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210497098.7
• 申請日: 2012-11-29
• 公開（公告）號: CN102936715A
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃信二
• 申請（專利權(quán)）人: 研創(chuàng)應(yīng)用材料（贛州）有限公司
• 主分類號: C23C14/14
• 分類號: C23C14/14;C23C14/34
• 代理公司: 江西省專利事務(wù)所 36100
• 代理人: 楊志宇

1.一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銦金屬薄膜時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.7×10^-2-0.9×10^-2mtorr，用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為10-50mtorr，以直流功率100瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銦金屬薄膜。

2.一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銦金屬薄膜時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.7×10^-2-0.9×10^-2mtorr，利用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為10-50?mtorr，基板熱至80-100℃，以直流功率100瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銦金屬薄膜。

3.一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銅銦薄膜(60%In-40%Cu)時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.7×10^-2-0.9×10^-2mtorr，利用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為10-20?mtorr，以直流功率100瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銅銦薄膜。

4.一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銅銦鎵薄膜(50%?Cu-35%In-15%?Ga)時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.7×10^-2-0.9×10^-2mtorr，利用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為10-20?mtorr，以直流功率70-150瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銅銦鎵薄膜。

5.如權(quán)利要求1所述的一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銦金屬薄膜時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.8×10^-2mtorr，用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為30mtorr，以直流功率100瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銦金屬薄膜。

6.如權(quán)利要求2所述的一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銦金屬薄膜時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.8×10^-2mtorr，利用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為30?mtorr，基板熱至90℃，以直流功率100瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銦金屬薄膜。

7.如權(quán)利要求3所述的一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銅銦薄膜(60%In-40%Cu)時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.8×10^-2mtorr，利用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為15mtorr，以直流功率100瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銅銦薄膜。

8.如權(quán)利要求4所述的一種氣相凝結(jié)制備前趨物金屬薄膜的方法，其特征為：制備銅銦鎵薄膜(50%?Cu-35%In-15%?Ga)時，把所需鍍著玻璃基材放入濺鍍腔體中，以真空抽氣系統(tǒng)將濺鍍腔體背景壓力抽至0.8×10^-2mtorr，利用氬氣當作工作氣體，透過節(jié)流閥將通入氬氣控制濺鍍腔體的工作壓力為15?mtorr，以直流功率110瓦進行60分鐘的濺鍍制程，制得平坦化銅銦鎵薄膜。