[發(fā)明專利]搬送裝置和搬送方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210487648.7
• 申請日: 2012-11-26
• 公開（公告）號: CN103177992A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牧準(zhǔn)之輔;矢野光輝;中野征二;渡邊剛史;豐田康典;榎木田卓;飯?zhí)锍烧?/a>;原田浩樹
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種裝載半導(dǎo)體晶片、平板顯示器用玻璃基板和其他的基板進(jìn)行搬送時(shí)，檢測該基板的搬送狀態(tài)的搬送裝置和搬送方法。

背景技術(shù)

對半導(dǎo)體晶片等的基板進(jìn)行處理的裝置（基板處理裝置）中，存在將保管在基板待機(jī)部的基板搬送到基板處理部的裝置。作為將基板搬送到基板處理部的方法，存在將基板（被搬送部件）裝載于搬送臂（被驅(qū)動單元），并由電機(jī)等（驅(qū)動單元）的驅(qū)動力使該搬送臂移動，從而將基板搬送到所希望的位置的方法。例如由電機(jī)、傳動輪（pulley、傳動帶輪）和傳動帶（belt、皮帶）等構(gòu)成垂直方向和/或水平方向的移動機(jī)構(gòu)，利用電機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力使傳動輪旋轉(zhuǎn)，使架設(shè)在旋轉(zhuǎn)的傳動輪上的傳動帶在垂直方向和/或水平方向上移動，從而移動連結(jié)于傳動帶的搬送臂。由此，能夠?qū)⒀b載于搬送臂的基板搬送到所希望的位置。

在專利文獻(xiàn)1中，公開有關(guān)于通過利用傳動帶的驅(qū)動使托盤上下移動的堆垛器（stacker），能夠根據(jù)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度的變動和/或托盤的位置檢測傳動帶的跳齒（歯飛び）的技術(shù)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-42463號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

為了提高基板處理的生產(chǎn)率，要求能夠自動檢測搬送基板時(shí)的異常的基板的搬送裝置。另外，為了縮短搬送基板時(shí)的異常的處理時(shí)間，要求檢測異常的同時(shí)，能夠自動確定異常的原因（不良狀況發(fā)生的地方）的搬送裝置。在此，作為異常的原因，有傳遞電機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力的連接器（cup?ring，連接器）或支承其旋轉(zhuǎn)軸的軸承的破損、傳動帶的斷開（或滑動）、搬送臂（被驅(qū)動單元）的干擾和碰撞、將搬送臂在規(guī)定的方向上引導(dǎo)的導(dǎo)軌的破損等。

專利文獻(xiàn)1中公開的技術(shù)中，有時(shí)無法檢測連接器、軸承或?qū)к壍钠茡p或搬送臂的干擾等的異常。例如由于連接器等的不良，摩擦力增加時(shí)，有時(shí)無法檢測這種不良。另外，即使能夠從電機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度的變動和托盤（tray）的位置檢測搬送時(shí)是否發(fā)生異常的情況下，有時(shí)也無法確定其異常的原因。

本發(fā)明是鑒于這種情況而提出的，其課題在于，提供一種搬送裝置和搬送方法，該搬送裝置和搬送方法，在通過由電機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力使裝載有被搬送部件的被驅(qū)動單元移動從而搬送被搬送部件時(shí)，能夠檢測出搬送時(shí)發(fā)生的異常。

用于解決課題的技術(shù)方案

根據(jù)本發(fā)明的一種方式，提供一種搬送裝置，其將被搬送部件裝載于被驅(qū)動單元進(jìn)行搬送，該搬送裝置的特征在于，包括：驅(qū)動單元，其通過利用電機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力使驅(qū)動側(cè)傳動輪旋轉(zhuǎn)，從而使架設(shè)于該驅(qū)動側(cè)傳動輪的傳動帶移動，使連結(jié)于該傳動帶的上述被驅(qū)動單元在規(guī)定的方向上移動；和對上述被驅(qū)動單元的搬送狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)視的搬送監(jiān)視單元，上述搬送監(jiān)視單元檢測使上述被驅(qū)動單元移動所需的上述電機(jī)的轉(zhuǎn)矩值，基于所檢測出的上述轉(zhuǎn)矩值，計(jì)算該轉(zhuǎn)矩值的相對時(shí)間的轉(zhuǎn)矩微分值，并利用所計(jì)算出的上述轉(zhuǎn)矩微分值檢測上述搬送狀態(tài)。另外，提供一種搬送裝置，其特征在于，上述驅(qū)動單元還包括對應(yīng)于上述傳動帶的移動而旋轉(zhuǎn)的從動側(cè)傳動輪，上述搬送監(jiān)視單元，進(jìn)一步利用將上述電機(jī)的旋轉(zhuǎn)動作與上述從動側(cè)傳動輪的旋轉(zhuǎn)動作進(jìn)行比較的比較結(jié)果、或?qū)⑸鲜鲵?qū)動側(cè)傳動輪的旋轉(zhuǎn)動作與上述從動側(cè)傳動輪的旋轉(zhuǎn)動作進(jìn)行比較的比較結(jié)果，檢測上述搬送狀態(tài)。另外，提供一種搬送裝置，其特征在于：上述搬送監(jiān)視單元，進(jìn)一步檢測作用于上述從動側(cè)傳動輪的上述傳動帶的張力，進(jìn)一步利用所檢測出的上述張力檢測上述搬送狀態(tài)。