[發明專利]單位掩模板及包括該單位掩模板的掩模板組裝體

有效

• 申請號: 201210483339.2
• 申請日: 2012-11-23
• 公開（公告）號: CN103390728B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發明（設計）人: 樸商赫;洪宰敏;鄭祐永;權哈納
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司11204
• 代理人: 余朦,劉錚

1.一種單位掩模板，其兩端部在沿著第一方向施加有張力的狀態下被支撐在框架上并覆蓋所述框架的開口部的一部分，所述單位掩模板包括：

帶狀的掩模板本體部，沿著所述第一方向延伸；

多個圖案部，沿著所述第一方向設置在所述掩模板本體部上，并且具有各自沿著所述第一方向延伸開口并沿著與所述第一方向相交的第二方向相隔設置的多個圖案縫隙；以及

兩個虛擬部，相隔地設置在所述掩模板本體部的兩端部處，所述多個圖案部位于相隔地設置在所述掩模板本體部的兩端部處的所述兩個虛擬部之間，并且所述兩個虛擬部分別具有沿著所述第一方向延伸開口并沿著所述第二方向相隔設置的多個虛擬縫隙，

其中，在所述多個虛擬縫隙中，設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙在所述第一方向上延伸的長度小于設置在所述第二方向的中心區域的虛擬縫隙在所述第一方向上延伸的長度。

2.根據權利要求1所述的單位掩模板，其中，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙為多個，設置在所述第二方向的外圍區域的所述虛擬縫隙在所述第一方向上延伸的長度隨著接近所述第二方向的外圍而依次減小。

3.根據權利要求2所述的單位掩模板，其中，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙為5至10個。

4.根據權利要求3所述的單位掩模板，其中，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙為5個，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙中，各相鄰的虛擬縫隙的端部之間、在所述第一方向上的距離為5倍于所述相鄰的虛擬縫隙之間、在所述第二方向上的距離。

5.根據權利要求4所述的單位掩模板，其中，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙在所述第二方向上的寬度為2倍于設置在所述第二方向的中心區域的虛擬縫隙在所述第二方向上的寬度。

6.根據權利要求3所述的單位掩模板，其中，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙為5個，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙中，各相鄰的虛擬縫隙的端部之間、在所述第一方向上的距離為6倍于所述相鄰的虛擬縫隙之間、在所述第二方向上的距離。

7.根據權利要求3所述的單位掩模板，其中，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙為5個，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙中，各相鄰的虛擬縫隙的端部之間、在所述第一方向上的距離為2倍于所述相鄰的虛擬縫隙之間、在所述第二方向上的距離。

8.根據權利要求3所述的單位掩模板，其中，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙為10個，

設置在所述第二方向的外圍區域的虛擬縫隙中，各相鄰的虛擬縫隙的端部之間、在所述第一方向上的距離為5倍于所述相鄰的虛擬縫隙之間、在所述第二方向上的距離。

9.一種掩模板組裝體，包括：

框架，具有開口部；以及

多個根據權利要求1至8中的任意一項所述的單位掩模板，位于所述開口部上。