[發明專利]一種二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝

無效

• 申請號: 201210471193.X
• 申請日: 2012-11-20
• 公開（公告）號: CN102923716A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 李仕揚;沈偉
• 申請（專利權）人: 四川瑞能硅材料有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 錢成岑;詹永斌

1.一種二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：包括以下步驟：（1）將氣態二氯二氫硅冷凝成液體，再將所得的二氯二氫硅液體和經冷卻后的四氯化硅液體按一定比例進行混合；（2）將上述二氯二氫硅和四氯化硅混合液送入固定床反應器中進行催化反應；（3）將反應器反應采出的氣液混合物進行氣液分離，將氣態產品冷凝成液態后，與氣液分離采出的液態產品一起送入儲罐儲存。

2.如權利要求1所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：所述步驟（1）中，二氯二氫硅液體與四氯化硅液體按照質量比1:3-1:4進行混合。

3.如權利要求2所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：所述步驟（2）中，二氯二氫硅和四氯化硅混合液的進料溫度為-10℃-10℃。

4.如權利要求1或2或3所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：所述步驟（2）中，反應器的反應溫度為30℃-50℃，反應壓力為0.2MPa-0.3MP，二氯二氫硅和四氯化硅混合液在反應器中的反應停留時間為5s-8s。

5.如權利要求4所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：所述步驟（2）中，固定床反應器裝填的為陰離子交換樹脂催化劑。

6.如權利要求5所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：二氯二氫硅液體與四氯化硅液體按照質量比1:4進行混合，混合液的進料溫度為5℃，反應器的反應溫度為50℃，反應壓力為0.25MP，二氯二氫硅和四氯化硅混合液在反應器中的反應停留時間為8s。

7.如權利要求1或2或3或5或6所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：進一步將所述步驟（3）儲罐中的液態產品送入兩級精餾塔中進行分離，一級精餾塔塔頂回收原料二氯二氫，塔底的四氯化硅和三氯氫硅混合液經二級精餾塔進一步分離，得到原料四氯化硅和產品三氯氫硅。

8.如權利要求7所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：所述步驟（1）中氣態二氯二氫硅采用-20℃冷凍鹽水進行冷凝，步驟（1）中液體四氯化硅和所述步驟（3）中的氣液分離得到的氣態產品，均采用工藝循環水進行冷卻。

9.如權利要求1所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：還包括所述固定床反應器在裝填催化劑后對催化劑進行脫水處理。

10.如權利要求1所述的二氯二氫硅反歧化生產三氯氫硅工藝，其特征在于：所述二氯二氫硅和四氯化硅來自于多晶硅生產系統。