[發明專利]基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201210468840.1
• 申請日: 2012-11-20
• 公開（公告）號: CN102944518A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 吳周令;陳堅;黃明
• 申請（專利權）人: 合肥知常光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 合肥天明專利事務所 34115
• 代理人: 金凱

1.基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）、首先用泵浦光源相對被測樣品表面發射泵浦光束，泵浦光束進入被測樣品內部最終從被測樣品背面出射，出射后的泵浦光束經設置于被測樣品背面后端的反射裝置反射重新進入被測樣品內部與初始入射的泵浦光束重疊，在重疊區域內由于光學干涉效應形成駐波，產生周期性的光強分布，這種周期性的光強分布在與被測樣品材料相互作用時將對被測樣品材料特性產生周期性的空間調制，形成瞬態體光柵；

（2）、由探測光源發出的探測光束以與瞬態體光柵法線成一定角度的方向入射到被測樣品內部并在被測樣品內部瞬態體光柵區域產生衍射效應，入射的探測光束一部分將被衍射，一部分直接透射，即最終探測光束被分成衍射光束和透射光束；

（3）、通過檢測衍射光束或透射光束的強度、位相以及其隨時間的變化獲得被測樣品材料的相關特性。

2.根據權利要求1所述的基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測方法，其特征在于：所述的泵浦光束為光強調制的連續光或是脈沖光。

3.根據權利要求1所述的基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測方法，其特征在于：所述的探測光束從被測樣品表面或被測樣品側面入射到被測樣品內部。

4.基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測裝置，包括有泵浦光源和探測光源，其特征在于：所述的材料特性檢測裝置還包括有相對被測樣品背面設置的反射裝置。

5.根據權利要求5所述的基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測裝置，其特征在于：所述的材料特性檢測裝置還包括有順次設置于泵浦光源和被測樣品表面之間的泵浦光濾波擴束準直系統、浦光束位置調整系統和泵浦光聚焦透鏡，順次設置于探測光源和被測樣品表面或一側面之間的探測光濾波擴束準直系統、探測光束位置調整系統和探測光聚焦透鏡，以及設置于被測樣品背面和反射裝置之間的泵浦光準直透鏡。

6.根據權利要求5或6所述的基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測裝置，其特征在于：所述的反射裝置包括有反射鏡裝夾調整裝置和設置于反射鏡裝夾調整裝置上的高反射率鏡。

7.根據權利要求6所述的基于駐波激發瞬態體光柵效應的材料特性檢測裝置，其特征在于：所述的材料特性檢測裝置還包括有順次設置于被測樣品背面或另一側面后端的探測光準直透鏡、探測光束調整透鏡、探測光空間濾波器、探測光濾光片和光電探測器。