[發(fā)明專(zhuān)利]圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)制造設(shè)備及方法、盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210465943.2
• 申請(qǐng)日: 2012-11-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103128907A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大石裕之
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 索尼公司;索尼信息技術(shù)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B29C45/14
• 分類(lèi)號(hào): B29C45/14;B29C59/02;B29C37/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王萍;李春暉

技術(shù)領(lǐng)域

本技術(shù)涉及制造使用沖壓機(jī)通過(guò)注射壓縮成型將需要的凸凹圖案轉(zhuǎn)印到其上的轉(zhuǎn)印介質(zhì)的設(shè)備和方法，還涉及圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)（盤(pán)狀或任意形狀）。

背景技術(shù)

日本未審專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2008-170534和日本未審專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2007-001290是相關(guān)技術(shù)的例子。

例如，公開(kāi)了各種生物芯片，如DNA微陣列和微通道。

圖11是示意性示出生物芯片外觀的一個(gè)例子的視圖。

如該圖中所示，該生物芯片呈現(xiàn)例如板狀外觀，并且在該生物芯片的表面上形成凹凸圖案，如精細(xì)通道（該圖中的“圖案”）。

在當(dāng)前情況下，像這樣的板狀生物芯片的制造是通過(guò)使用流道（runner）方法的注射壓縮成型進(jìn)行的，該流道方法使用如圖12中所示的多邊形成型模具部103。

具體地，在該流道方法中，從該圖中的池部101以熔化狀態(tài)引入熱塑材料，并且經(jīng)由流道部102將其注射到每個(gè)成型模具部103中（該圖中的103A至103D）。之后，進(jìn)行加壓和冷卻，并且從模具取出成型材料。

此外，為了確認(rèn)的目的，該成型模具部103的形狀是多邊形形狀，以制造板狀生物芯片。

發(fā)明內(nèi)容

然而，在上述流道方法中，由于圖12中所示的由熱塑材料制成的注射口（口）Gt設(shè)置在成型模具部103的側(cè)壁部分中，所以存在該材料難以擴(kuò)展到對(duì)應(yīng)的成型模具部103內(nèi)的每個(gè)角落的趨勢(shì)。

在這方面，施加比較大的壓力是必要的，以使成型后的該芯片的平面厚度均勻。例如，在約±0.6μm的平面厚度公差是必要時(shí)的情況下，需要100t級(jí)別的壓力。

此外，與此同時(shí)，需要比較長(zhǎng)的施加壓力以使平面厚度均勻的時(shí)間，例如，生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間（tact?time）需要至少30秒或以上。

因此，根據(jù)該相關(guān)技術(shù)的流道方法，需要相對(duì)較長(zhǎng)的處理時(shí)間，以產(chǎn)生精細(xì)加工的生物芯片如高精度的生物芯片，并且就提高生產(chǎn)率來(lái)說(shuō)存在缺點(diǎn)。

此外，在該流道方法的情況下，就成型之后的芯片來(lái)說(shuō)，連接到流道部102的連接部被切削（切除），但是存在在產(chǎn)品方面余留有該切削痕跡的問(wèn)題。另外，盡管通過(guò)例如切削修整（弄平）了對(duì)應(yīng)的切削痕跡，但是需要較多的時(shí)間和成本。

關(guān)于諸如生物芯片等其上轉(zhuǎn)印有精細(xì)凹凸圖案的圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)的制造，期望實(shí)現(xiàn)制造時(shí)間的縮短，同時(shí)確保成型精度。

在本技術(shù)中，圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)制造設(shè)備被配置如下。

也就是說(shuō)，根據(jù)本技術(shù)的實(shí)施例，提供一種圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)制造設(shè)備，包括盤(pán)注射壓縮成型單元，其使用盤(pán)成型模具和盤(pán)狀沖壓機(jī)通過(guò)注射壓縮成型形成盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)。

此外，還包括切削單元，其將通過(guò)注射壓縮成型的轉(zhuǎn)印而形成的盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)上的凸凹圖案部的周邊作為目標(biāo)物進(jìn)行切削。

此外，根據(jù)本技術(shù)的另一實(shí)施例，提供一種圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)制造方法，包括：使用盤(pán)成型模具和盤(pán)狀沖壓機(jī)通過(guò)注射壓縮成型形成盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)；在通過(guò)所述注射壓縮成型的轉(zhuǎn)印而形成的作為目標(biāo)物的盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)上的凸凹圖案部的周邊進(jìn)行切削。

此外，根據(jù)本技術(shù)的另一實(shí)施例，提供一種具有盤(pán)狀外觀的盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)。所述盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)具有轉(zhuǎn)印到至少其表面上的預(yù)定凹凸圖案。另外，所述凹凸圖案的轉(zhuǎn)印部的周邊被按照任意形狀裁切，并因此與介質(zhì)的主要部分的連接被切斷。

此外，根據(jù)本技術(shù)的再一實(shí)施例，提供一種通過(guò)如下方式制造的圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)：使用盤(pán)成型模具和盤(pán)狀沖壓機(jī)通過(guò)注射壓縮成型形成盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)；將通過(guò)所述注射壓縮成型的轉(zhuǎn)印而形成的盤(pán)狀圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)上的凸凹圖案部的周邊作為目標(biāo)物進(jìn)行切削。

由于上文描述的本技術(shù)使用盤(pán)成型模具和盤(pán)狀沖壓機(jī)進(jìn)行注射壓縮成型，所以例如可以使用與在生產(chǎn)光盤(pán)存儲(chǔ)介質(zhì)（在下文中稱(chēng)為光盤(pán)）如CD（壓縮盤(pán)）、DVD（數(shù)字多用途盤(pán)）、BD（Blu-lay?Disc：注冊(cè)商標(biāo)）的襯底時(shí)所使用的相同的注射成型處理。

由于以這種方式使用與光盤(pán)相同的注射成型處理，所以圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)的成型材料可以從模具的中央部（即盤(pán)的中央部）成放射狀地注射，并且對(duì)應(yīng)的成型材料可以容易地?cái)U(kuò)展到模具內(nèi)的每個(gè)角落。

因此，與流道方法（多邊形成型）的情況相比，使平面厚度均勻所需的壓力可以較小，或者使平面厚度均勻所需的壓力施加時(shí)間也可以較短。結(jié)果，可以實(shí)現(xiàn)工作節(jié)拍時(shí)間的縮短。

此外，由于當(dāng)使用與光盤(pán)相同的注射成型處理時(shí)，伴隨著打孔處理以形成中心孔，注射口周邊的連接部被切削，所以在該圖案轉(zhuǎn)印介質(zhì)上不會(huì)留下切削痕跡，并且可以不需要對(duì)切削痕跡的專(zhuān)門(mén)修整處理。因此，也可以實(shí)現(xiàn)制造時(shí)間的縮短。