[發明專利]一種太陽能電池及其擴散方法

有效

• 申請號: 201210461743.X
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN102925982A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 范志東;張小盼;趙學玲;李倩
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B31/08
• 分類號: C30B31/08;C30B31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種擴散方法，其特征在于，包括以下步驟：

A、將硅片放入擴散爐中，將擴散爐內溫度升溫至750℃~800℃，包括端點值，向擴散爐內通源進行磷擴散，向硅片中擴散磷的量基本為，在當前擴散爐內溫度下的磷在硅片中的最大固溶度；

B、將擴散爐內溫度升溫至810℃~820℃，包括端點值，使磷向硅片內部擴散；

C、將擴散爐內溫度升溫至840℃~850℃，包括端點值，升溫過程中通源，以進行變溫擴散；

Ｄ、保持步驟C升溫后的溫度下，通入氧氣以進行高溫推進，直至磷在硅片中的擴散量達到目標值，對擴散爐內進行降溫后，打開擴散爐取出硅片。

2.根據權利要求1所述的一種擴散方法，其特征在于，步驟B和步驟C中的升溫速度相同，其升溫速度為5℃/min~10℃/min。

3.根據權利要求2所述的一種擴散方法，其特征在于，所述源為氧氣和帶有三氯氧磷的氮氣的混合氣體，該混合氣體中氧氣和帶有三氯氧磷的氮氣的氣體體積比為3:13。

4.根據權利要求3所述的一種擴散方法，其特征在于，步驟A和步驟C中所述源中帶有三氯氧磷的氮氣的氣體流量為800sccm~1200sccm，其中步驟A中進行磷擴散的時間為5~10分鐘。

5.根據權利要求4所述的一種擴散方法，其特征在于，所述步驟A和步驟C中，帶有三氯氧磷的氮氣氣體流量為1000sccm，步驟A中進行磷擴散的時間為10分鐘。

6.根據權利要求1所述的一種擴散方法，其特征在于，步驟D中通入氧氣的流量為300sccm~800sccm，所述高溫推進的時間為5~10分鐘。

7.根據權利要求1所述的一種擴散方法，其特征在于，在步驟A中，將擴散爐內溫度升溫至750℃~800℃之后還包括：在擴散爐內通入氧氣，在硅片表面形成二氧化硅層，所述二氧化硅層的厚度在50nm~60nm范圍內。

8.根據權利要求7所述的一種擴散方法，其特征在于，在步驟A中，將擴散爐內溫度升溫至750℃~800℃之后還包括：在擴散爐內通入氧氣的流量為500sccm~800sccm，時間為5~10分鐘。

9.一種采用權利要求1-8任一項所述的方法生產的太陽能電池片，其特征在于，所述電池片的轉換效率為16.5%~17.5%。

10.根據權利要求9所述電池片，其特征在于，所述電池片的磷雜質濃度在1021個/立方厘米以下。