[發明專利]一種用于測量TSV電鍍銅殘余應力的試樣夾持與定位裝置

有效

• 申請號: 201210460034.X
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN102944336A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 秦飛;黃傳實;武偉;安彤;劉程艷
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01L1/00
• 分類號: G01L1/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 魏聿珠

1.一種用于測量TSV電鍍銅殘余應力的試樣夾持與定位裝置，其特征在于：其由夾具和調整臺兩部分組成；

其中夾具部分包括夾具底座（10）和彈簧片（9），其中夾具底座（10）上面有深度和簧片（9）厚度相同的定位簧片的凹槽（23），簧片（9）用于在安裝時卡入定位簧片的凹槽（23）中固定TSV轉接板（8），簧片（9）將TSV轉接板(8)進行定位，夾具底座（10）和簧片（9）固定；夾具底座（10）為圓柱形，夾具底座（10）上有沿半徑方向貫穿的方形的用于TSV轉接板（8）滑動的導軌（22），凹槽（23）位于導軌（22）兩側；TSV轉接板（8）由在硅板（6）上陣列布置電鍍銅柱（7）組成;導軌（22）的底面上沿著導軌（22）寬度方向設置有寬度比TSV銅柱（7）尺寸大的用于TSV銅柱（7）落下的縫隙（25），縫隙（25）的長度和導軌（22）的寬度相同，縫隙（25）沿夾具底座（10）的軸向方向貫穿夾具底座（10）；在導軌（22）的一端有一段用于裝卡TSV轉接板（8）的坡道，在裝卡TSV轉接板（8）的時候將TSV轉接板（8）從這段坡道插入導軌（22），TSV轉接板（8）高度沿著坡道上升并頂起固定在夾具底座（10）上的簧片（9），簧片（9）上有沿著導軌兩側面向下的用于壓緊TSV轉接板（8）的條形凸臺（20）;在所述的坡道上有一個矩形凹槽（26）;夾具底座（10）的底面上有沿半徑方向的貫穿底座的條形凹槽（27）；

調整臺部分包括位移臺、夾具座（13）、調整臂（14）；夾具座（13）和調整臂（14）均和位移臺固定，夾具座（13）上面有半徑和夾具底座（10）半徑相同的用于放置夾具底座（10）的圓孔（31），圓孔（31）底部有寬度和條形凹槽（27）寬度相同的定位條（30），定位條（30）在夾具放在夾具座（13）上的時候剛好可以卡在夾具底面上的條形凹槽（27）內；調整臂（14）固定在位移臺的臺面（16）上，位移臺臺面沿著平行于夾具上導軌（22）的方向移動，隨位移臺的臺面（16）一起移動，調整臂（14）的另一端是長方形的結構，在調整TSV轉接板（8）在夾具上面的位置時，這段長方形的結構有一部分在沿夾具底座（10）的凹槽（26）移動，推動TSV轉接板（8）運動。

2.根據權利要求1所述的一種用于測量TSV電鍍銅殘余應力的試樣夾持與定位裝置，其特征在于：在導軌（22）的兩側分別有和導軌（22）底面上的縫隙（25）同樣寬度并且和導軌（22）底面上的縫隙（25）在同一直線上的定位標識（28）。

3.根據權利要求1所述的一種用于測量TSV電鍍銅殘余應力的試樣夾持與定位裝置，其特征在于：夾具底座（10）上有螺紋孔（21），夾具底座（10）和簧片（9）通過螺釘I（11）固定。

4.根據權利要求1所述的一種用于測量TSV電鍍銅殘余應力的試樣夾持與定位裝置，其特征在于：夾具座（13）和調整臂（14）都是通過螺釘II（12）和位移臺固定。

5.根據權利要求4所述的一種用于測量TSV電鍍銅殘余應力的試樣夾持與定位裝置，其特征在于：調整臂（14）通過螺釘II1（2）固定在位移臺的臺面（16）上。