[發明專利]一種使用溶膠-凝膠法制備MgF2減反射膜的方法

無效

• 申請號: 201210458532.0
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN102976626A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 陳源清;張古強;童少利;孫希佳
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: C03C17/22
• 分類號: C03C17/22;C04B41/50
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 李娜

1.一種使用溶膠-凝膠法制備MgF₂減反射薄膜的方法，其特征在于，首先，用一定量的氫氟酸作反應物將氯化鎂溶解于溶劑中形成了性能穩定且成膜性好的MgF₂溶膠；然后用所配制的MgF₂溶膠，結合浸漬提拉法或輥涂法在玻璃等基底上，制得凝膠薄膜；隨后將得到的凝膠薄膜經過干燥和熱處理，即可高透過率的MgF₂薄膜。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，具體按照以下步驟實施：

1）含氟溶膠的配制：

將氯化鎂溶解于溶劑溶液中，使摩爾比氯化鎂：溶劑＝1:（20～100），得到溶液A，將氫氟酸溶解于溶劑溶液中，使得摩爾比氫氟酸：溶劑=1：（15～40），得到溶液B，然后將溶液B逐滴加入到正在攪拌的溶液A中，溶液A與溶液B兩種溶液混合后，在40℃～200℃的溫度下回流攪拌12～36小時后，得到氟化鎂溶膠，

氟化鎂溶膠中有效成分的摩爾比為：氯化鎂:氫氟酸:溶劑＝1:(2.0～2.2):(50～180）；

2）凝膠薄膜的制備及干燥：

將步驟1）配制的氟化鎂溶膠，結合浸漬提拉法，旋轉涂覆法或滾涂法，在玻璃、石英或硅基片上制得氟化鎂凝膠薄膜，隨后將得到的薄膜在80～100℃下干燥5～10分鐘，揮發掉多余的溶劑，得到凝膠干膜；

3）薄膜熱處理：

將步驟2）制得的凝膠干膜放入馬弗爐中，在300℃～550℃的溫度下煅燒5～50分鐘，即得，

若要增加薄膜的厚度，可重復步驟2）與步驟3）步驟若干次。

3.如權利要求2中所述的方法，其特征在于，步驟1）中所述的溶劑為乙醇或甲醇。

4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，步驟1）中所述的氯化鎂可用醋酸鎂或氫氧化鎂替代。

5.如權利要求2所述的方法，其特征在于，步驟3）在空氣、N₂或Ar氣氣氛下進行。