[發明專利]分束光柵子光束陣列的位相和光強測量裝置和方法

有效

• 申請號: 201210444533.X
• 申請日: 2012-11-08
• 公開（公告）號: CN102944193A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 李兵;職亞楠;周煜;戴恩文;孫建鋒;侯培培;劉立人
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01J1/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種分束光柵子光束陣列的位相和光強的測量裝置，其特征在于其構成包括：激光器（1）發出的入射激光經第一分束鏡（2）分成透射光和反射光：所述的透射光經第一準直擴束器（3）進行準直擴束成平面波后，垂直照射位于傅里葉透鏡（5）前焦面的待測的分束光柵（4），經第一反射鏡（6）反射后，再經第二分光鏡（7）反射，最后進入CCD相機（8），所述的CCD相機（8）位于所述的傅里葉透鏡（5）的后焦面，該CCD相機（8）與計算機（13）連接；所述的反射光經第二反射鏡（9）反射后，先通過光開關（10），然后通過光學相位延遲器（11），然后通過第二準直擴束器（12）后成為平面參考光，透射過第二分光鏡（7）垂直入射所述的CCD相機（8）。

2.利用權利要求1所述的分束光柵子光束陣列位相和光強的測量裝置進行位相和光強的測量方法，其特征在于該方法包括下列步驟：

①將待測分束光柵（4）置于所述的傅里葉透鏡（5）前焦面；

②打開光開關（10），兩路光在所述的CCD相機（8）接收面干涉，調整所述的光學相位延遲器（11）移動相位分別為其中i=1、2、3、4，所述的CCD相機（8）分別采集干涉圖像數據共四次并傳輸到計算機（13）中分別保存為I₁、I₂、I₃、I₄；

③計算機（13）利用下列公式計算出相應的分束光柵（4）子光束陣列的位相

④當測量分束光柵（4）子光束陣列光強時，關閉光開關（10），所述的CCD相機（8）采集的光強數據即為待測分束光柵（4）子光束陣列的光強的分布。