[發明專利]溶膠凝膠法制備Tb 和Cr 共摻雜的高剩余極化強度的BiFeO3 薄膜的方法有效
| 申請號: | 201210441974.4 | 申請日: | 2012-11-07 |
| 公開(公告)號: | CN103058646A | 公開(公告)日: | 2013-04-24 |
| 發明(設計)人: | 談國強;董國華 | 申請(專利權)人: | 陜西科技大學 |
| 主分類號: | C04B35/453 | 分類號: | C04B35/453;C04B35/624 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人: | 蔡和平 |
| 地址: | 710021 *** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 溶膠 凝膠 法制 tb cr 摻雜 剩余 極化 強度 bifeo sub 薄膜 方法 | ||
1.一種溶膠凝膠法制備Tb和Cr共摻雜的高剩余極化強度的BiFeO3薄膜的方法,其特征在于,包括以下步驟:
步驟1:將Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Tb(NO3)3·6H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩爾比0.94∶1-x∶0.11∶x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中得到混合溶液,向混合溶液中加入乙醇胺以得到穩定的BiFeO3前驅液,BiFeO3前驅液中總的金屬離子濃度為0.3mol/L;其中,x=0.01~0.03,混合液中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3∶1~4∶1;
步驟2:采用旋涂法和逐層退火的工藝得到Tb和Cr共摻晶態的BiFeO3薄膜。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,還包括步驟3:重復步驟2得到需要厚度的BiFeO3薄膜。
3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟2中,逐層退火工藝為550℃快速退火7~12min,再隨爐冷卻至室溫。
4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟1中x=0.02。
5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述Tb和Cr共摻晶態的BiFeO3薄膜中包括共存的菱形結構晶格和偽四方結構晶格,即出現準同型相界(MPB)。
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