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[發明專利]溶膠凝膠法制備Tb 和Cr 共摻雜的高剩余極化強度的BiFeO3 薄膜的方法有效

專利信息
申請號: 201210441974.4 申請日: 2012-11-07
公開(公告)號: CN103058646A 公開(公告)日: 2013-04-24
發明(設計)人: 談國強;董國華 申請(專利權)人: 陜西科技大學
主分類號: C04B35/453 分類號: C04B35/453;C04B35/624
代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200 代理人: 蔡和平
地址: 710021 *** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 溶膠 凝膠 法制 tb cr 摻雜 剩余 極化 強度 bifeo sub 薄膜 方法
【權利要求書】:

1.一種溶膠凝膠法制備Tb和Cr共摻雜的高剩余極化強度的BiFeO3薄膜的方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟1:將Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Tb(NO3)3·6H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩爾比0.94∶1-x∶0.11∶x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中得到混合溶液,向混合溶液中加入乙醇胺以得到穩定的BiFeO3前驅液,BiFeO3前驅液中總的金屬離子濃度為0.3mol/L;其中,x=0.01~0.03,混合液中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3∶1~4∶1;

步驟2:采用旋涂法和逐層退火的工藝得到Tb和Cr共摻晶態的BiFeO3薄膜。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,還包括步驟3:重復步驟2得到需要厚度的BiFeO3薄膜。

3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟2中,逐層退火工藝為550℃快速退火7~12min,再隨爐冷卻至室溫。

4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟1中x=0.02。

5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述Tb和Cr共摻晶態的BiFeO3薄膜中包括共存的菱形結構晶格和偽四方結構晶格,即出現準同型相界(MPB)。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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