[發(fā)明專利]快速完成曝光時(shí)面板與掩膜精確對位的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210429672.5
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103792800A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧玉梅
• 申請（專利權(quán)）人: 南京華顯高科有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20;H01J9/20
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 32218
• 代理人: 夏平;瞿網(wǎng)蘭

1.一種快速完成曝光時(shí)面板與掩膜精確對位的方法，其特征是它包括以下步驟：

a、面板（1）準(zhǔn)備，在有電極的面板上整板印刷光敏介質(zhì)，并烘干；?

b、掩膜（4）準(zhǔn)備，清潔掩膜；

c、感光干膜（6）準(zhǔn)備，在干膜切割機(jī)上切取與介質(zhì)面板尺寸大小一致的感光干膜；

d、粘塵輥清潔曝光機(jī)的上下板面；

e、將感光干膜吸附在彩色光滑紙上（5）；

f、將清潔好的掩膜（4）固定在曝光機(jī)內(nèi)的上板面上（2）；

g、將貼有感光干膜的光滑紙固定在曝光機(jī)內(nèi)的下板面（3）上即曝光區(qū)，移動(dòng)感光干膜，盡量使它放在曝光區(qū)的中間；

h、對感光干膜進(jìn)行10—15秒鐘的曝光；

i、將面板（1）放置干膜（6）上，根據(jù)感光干膜上的對位標(biāo)記（7），用肉眼將面板對位標(biāo)記與其初步對齊；

j、通過CCD對位裝置尋找對位標(biāo)記，通過曝光機(jī)的x-y滾軸調(diào)節(jié)功能，手動(dòng)微調(diào)下板面（3），使觀察到的兩個(gè)對位標(biāo)記完全重合，從而實(shí)現(xiàn)最終的精確對位；

k、對精確對位后的面板（1）正常曝光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于通過感光干膜的感光性，曝光后可以成圖，從而進(jìn)行初步對位。

3.據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于面板上印刷的介質(zhì)是光敏性的，曝光后能形成圖形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于彩色保護(hù)紙可以循環(huán)利用，且彩色使成形圖形更清晰，“光滑”便于操作中移動(dòng)感光干膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于撕開保護(hù)膜后，感光干膜具有一定的吸附作用，會(huì)自動(dòng)吸附在光滑紙上。