[發明專利]混合酸清潔組件

有效

• 申請號: 201210424714.6
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN103084354A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 阿爾曼·阿沃楊;克利夫·拉克魯瓦;石洪;約翰·多爾蒂
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠

技術領域

本發明總體上涉及混合酸清潔組件，更具體地涉及用于清潔網狀電極的混合酸清潔組件。

背景技術

本公開總體上涉及用于清潔在等離子處理系統中用作激勵電極的網狀電極的氣體通道的混合酸組件。雖然本公開的范圍不限于特定類型的網狀電極或待清潔的網狀電極已使用的背景條件，但基于說明的目的，本發明中的混合酸組件參照單硅系電極進行了說明，該單硅系電極具有圓盤形狀，帶有同心布置的氣體通道。實踐本發明所描述的實施方式就會發現：這里所提出的混合酸組件中的一些將可以有利地用于各種類型的電極和非電極的情形中。

圖1示出了耦合到具有圓盤形狀的網狀電極的混合酸組件。圖3示出了網狀電極的分解圖。關于類似于圖1和3中的網狀電極和電極組件的結構的進一步教導可以在US?Pub.No.2007/0068629，No.2007/0235660和No.2007/0284246等文件中找到。其中的有關部分通過引用并入本文。其他的相關教導可以在美國專利No.6,073,577，No.6,148,765，No.6,194,322，No.6,245,192，No.6,376,385和US?Pub.No.2005/0241765中找到。

發明內容

在一種實施方式中，一種清潔組件可以包括模塊化電極密封殼體、酸注入口和流體注入口。該模塊化電極密封殼體可以包括含有第一清潔空間的高壓封閉件和含有第二清潔空間的低壓封閉件。該酸注入口可以形成于該高壓封閉件中，并能與該高壓封閉件中的第一清潔空間流體連通。該酸注入口可以將酸性溶液供給到該高壓封閉件中的第一清潔空間中。該流體注入口可以形成于該低壓封閉件中，并能與該低壓封閉件中的第二清潔空間流體連通。該流體注入口可以將純化水注入到該低壓封閉件中的第二清潔空間中。在正常操作過程中，可以將網狀電極密封在該模塊化電極密封殼體內，使得第一清潔空間位于該網狀電極的第一側，并且第二清潔空間位于該網狀電極的第二側。該高壓封閉件中的第一清潔空間能夠以比該低壓封閉件中的第二清潔空間相對較高的壓強運行。

在另一種實施方式中，一種清潔組件可以包括模塊化電極密封殼體、酸注入口、流體注入口、第二流體注入口、圓錐形噴射件以及液體分散件。該模塊化電極密封殼體可以包括含有第一清潔空間的高壓封閉件和含有第二清潔空間的低壓封閉件。該酸注入口可以形成于該高壓封閉件中，并能與該高壓封閉件中的第一清潔空間流體連通。該酸注入口可以將酸性溶液供給到該高壓封閉件中的第一清潔空間中。該流體注入口可以形成于該低壓封閉件中，并能與該低壓封閉件中的第二清潔空間流體連通。該第二流體注入口可以形成于該高壓封閉件中，并能與該高壓封閉件中的第一清潔空間流體連通。該圓錐形噴射件可以包括錐形件，該錐形件具有比該錐形件的頂端相對較大的基座。多個孔可以穿過該錐形件形成并設置在多個同心環中。該液體分散件可以包括其中形成有中央流道的圓柱體。多個液體出口可以形成于該圓柱體中。該多個液體出口中的每一個可以是基本呈線性的管道，該管道從該中央流道向外徑向延伸。該流體注入口可以與該圓錐形噴射件流體連通，使得該圓錐形噴射件通過該圓錐形噴射件的多個孔將純化水注入到該低壓封閉件中的第二清潔空間中。該第二流體注入口可以與該液體分散件流體連通，使得該液體分散件通過該液體分散件的多個液體出口將純化水注入到該高壓封閉件中的第一清潔空間中。在正常操作過程中，可以將網狀電極密封在該模塊化電極密封殼體內，使得第一清潔空間位于該網狀電極的第一側，并且第二清潔空間位于該網狀電極的第二側。

附圖說明

本公開的下述具體實施方式的詳細說明在結合下述附圖閱讀時將更好理解，其中類似的結構用類似的參考數字標明，并且其中：

圖1根據本發明所示出和說明的一個或多個實施方式示意性地描繪了混合酸清潔組件；

圖2根據本發明所示出和說明的一個或多個實施方式示意性地描繪了一種混合酸清潔組件的橫截面；

圖3根據本發明所示出和說明的一個或多個實施方式示意性地描繪了一種混合酸組件的分解圖；

圖4根據本發明所示出和說明的一個或多個實施方式示意性地描繪了一種混合酸清潔組件；

圖5根據本發明所示出和說明的一個或多個實施方式示意性地描繪了一種圓錐形噴射件；

圖6A-6B根據本發明所示出和說明的一個或多個實施方式示意性地描繪了一種氣體分散件；

圖7A-7B根據本發明所示出和說明的一個或多個實施方式示意性地描繪了一種液體分散件；