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[發(fā)明專利]一種激光薄膜的清洗方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210417513.3 申請日: 2012-10-29
公開(公告)號: CN102873048A 公開(公告)日: 2013-01-16
發(fā)明(設(shè)計)人: 丁濤;孫曉雁;馬彬;程鑫彬;焦宏飛;沈正祥;張錦龍;王占山 申請(專利權(quán))人: 同濟(jì)大學(xué)
主分類號: B08B3/08 分類號: B08B3/08;B08B3/12
代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200 代理人: 張磊
地址: 200092 *** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 激光 薄膜 清洗 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種激光薄膜的清洗方法,其特征在于具體步驟如下:

(1)用蘸有丙酮的棉簽擦拭樣品激光薄膜表面,將擦拭后的樣品置于第一清洗槽中,第一清洗槽中加入堿性溶液對該樣品進(jìn)行清洗,溶液溫度為室溫;所述堿性溶液配比為NH4OH:H2O2:H2O=1:10:50;

(2)將步驟(1)所得溶液分別在120KHz~180KHz、200KHz~270KHz頻率下先后超聲2~4分鐘;

(3)將步驟(2)所得樣品放置于第二清洗槽中,用去離子水漂洗,去離子水溫度為室溫;

(4)將步驟(3)所得樣品放置第三清洗槽中,第三清洗槽中加入去離子水,分別在120KHz~180KHz、200KHz~300KHz頻率下先后超聲3~6分鐘;

(5)取出樣品,重復(fù)步驟(3);

(6)干燥步驟(5)所得產(chǎn)品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光薄膜表面的清洗方法,其特征在于步驟(1)中堿性溶液的配制先后順序分別為:去離子水、雙氧水和氨水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高損傷閾值激光薄膜清洗方法,其特征在于步驟(6)中所述干燥溫度為55-65度。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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