[發明專利]一種加速度計擺片平橋的蝕刻方法有效
| 申請號： | 201210414161.6 | 申請日： | 2012-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN102923962A | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 袁楓;張蘭;劉英;吳艷;秦淑斌;郭琳瑞;周峰 | 申請（專利權）人： | 航天科工慣性技術有限公司 |
| 主分類號： | C03C15/00 | 分類號： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100070 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加速度計 擺片平橋 蝕刻 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種加速度計擺片平橋的蝕刻方法，其特征在于通過以下步驟實現：
第一步，配制腐蝕液；
第二步，估算蝕刻速率；
第三步，蝕刻窗口參考面；
利用第一步配制的腐蝕液在擺片坯料的雙面同一位置上蝕刻三個窗口圖形，窗口圖形蝕刻深度為擺片平橋設計厚度d的一半，即d/2；
第四步，同時蝕刻平橋和窗口，
利用第一步配制的腐蝕液對三個窗口和平橋部位一同進行蝕刻，蝕刻時對三個窗口部位進行觀察，當三個窗口部位被蝕刻穿后，即三個窗口部位形成通孔后停止蝕刻，此時即形成兩個獨立的平橋結構，平橋的厚度為d；
第五步，激光修邊。
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