[發明專利]固態成像器件和照相機

有效

• 申請號: 201210409870.5
• 申請日: 2008-02-15
• 公開（公告）號: CN102938408A
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 糸長總一郎;大屋雄
• 申請（專利權）人: 索尼株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 宋鶴

1.一種固態成像器件，包括：

具有以二維形式排列的多個像素的像素單元，每個像素包括光電轉換元件和用于將在所述光電轉換元件中生成的電荷傳送到浮動擴散部的傳送晶體管，

其中第一隔離區被形成在像素之間，并且第二隔離區被形成在所述浮動擴散部和所述第一隔離區之間。

2.如權利要求1所述的固態成像器件，其中所述第一隔離區與所述第二隔離區具有不同的形狀結構。

3.如權利要求1所述的固態成像器件，其中所述第二隔離區由淺槽結構形成。

4.如權利要求1所述的固態成像器件，其中所述第二隔離區連續地從與所述浮動擴散部毗連的部分延伸到所述傳送晶體管的柵極之下的部分。

5.如權利要求4所述的固態成像器件，其中雜質擴散隔離區介于所述傳送晶體管的柵極之下的淺槽隔離區的延伸部分的末端和所述光電轉換元件之間。

6.如權利要求1所述的固態成像器件，其中膜厚度等于柵絕緣膜的膜厚度的平整絕緣膜被形成在所述第二隔離區和所述雜質擴散隔離區上。

7.如權利要求1所述的固態成像器件，其中比柵絕緣膜厚的絕緣膜被形成在所述雜質擴散隔離區上。

8.如權利要求1所述的固態成像器件，還包括所述像素中的復位晶體管，其中所述復位晶體管的源極區與所述浮動擴散部相同。

9.如權利要求1所述的固態成像器件，其中多個所排列的像素共享除了所述傳送晶體管之外的像素晶體管。

10.如權利要求9所述的固態成像器件，其中所述像素晶體管至少包括所述復位晶體管。

11.如權利要求1所述的固態成像器件，其中所述第一隔離區由雜質擴散隔離區形成。