[發明專利]用于利用探針掃描樣品的掃描方法

有效

• 申請號: 201210396453.1
• 申請日: 2012-10-18
• 公開（公告）號: CN103063881A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: A.R.哈通;C.S.庫伊曼
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01Q30/04
• 分類號: G01Q30/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬永利;盧江

1.一種利用探針掃描樣品的方法，所述方法包括：

·?使用至少兩個掃描圖案來掃描所述樣品；

·?在利用第一掃描圖案依次掃描樣品的同時，獲取從所述掃描得到的數據并且將所獲得的數據映射在與第一掃描圖案相關聯的第一存儲器區域中，該存儲器區域包括大量的存儲器位置，每個存儲器位置與標稱掃描位置(x,y)相關聯，

·?在利用第二掃描圖案掃描樣品的同時，獲取從所述掃描得到的數據并且將所獲得的數據映射在與第二掃描圖案相關聯的第二存儲器區域中，該存儲器區域包括大量的存儲器位置，每個存儲器位置與標稱掃描位置(u,v)相關聯，

·?通過組合來自第一存儲器區域和第二存儲器區域的數據并且將組合數據映射在與改進圖像相關聯的存儲器區域中來形成改進圖像，與改進圖像相關聯的存儲器區域的每個點與標稱掃描位置相關聯，

其特征在于

·?兩個掃描圖案呈現多個交叉點的集合，其中掃描圖案成角度交叉，交叉點不一定與標稱掃描位置一致，從所述集合中選擇交點組C，

·?在第一掃描期間獲取的每個標稱掃描位置(x,y)的位置被調整并且在第二掃描期間獲取的每個標稱掃描位置(u,v)的位置被調整，從而以改進新限定的交點處的實際或內插數據的相似性的方式來限定新的交叉點集合和新的交點組C，

·?使用作為標稱掃描位置和其他標稱掃描位置之間的時間相干性的函數的加權因子，通過所述其他標稱掃描位置的調整來監管每個所述標稱掃描位置的調整，

·?使用經調整的標稱掃描位置(x,y)將第一存儲器區域的數據映射到改進的圖像的一個或多個存儲器位置，并且使用經調整的標稱掃描位置(u,v)將第二存儲器區域的數據映射到改進的圖像的一個或多個存儲器位置。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述探針是掃描探針顯微鏡的探針，聚焦荷電粒子束，聚焦X射線束或者近紅外光、可見光或近紫外光的光束。

3.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中所述至少兩個掃描圖案是兩個掃描圖案，每個掃描圖案包括平行線段，兩個掃描圖案中的線段的方向彼此垂直。

4.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中在每次掃描中獲得的數據的幅度被歸一化。

5.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中使用元啟發式方法來改進相似性。

6.根據權利要求5所述的方法，其中所使用的元啟發式方法包括“最陡峭爬山”和/或“信度傳播”的方法。

7.根據權利要求5或6所述的方法，其中使用一個或多個預定的中止標準來中止所述元啟發式方法，所述一個或多個預定的中止標準包括最大數目的迭代循環、在最后一次迭代中確定的交點C的最大移位、或者一次或多次掃描的最后兩個獲得的圖像的數據點的相似性。

8.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中至少一個掃描圖案將探針掃描到大量的掃描位置，探針在每個所述掃描位置在停留時間期間保持固定，并且在比所述停留時間短得多的時間周期中使探針在后續的位置之間移動。

9.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，在將數據映射到與改進圖像相關聯的存儲器的圖像位置之后，與改進圖像相關聯的未被填充數據的存儲器區域的存儲器位置被填充根據與所述存儲器位置相鄰的改進圖像中的數據內插的數據。

10.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中所述至少兩個掃描圖案呈現時間重疊。

11.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中所述至少兩個掃描圖案是兩個掃描圖案，每個掃描圖案包括平行線段，所述兩個掃描圖案中的線段的方向彼此垂直，并且所述加權因子對于一個或多個完整的掃描線上的所有掃描位置等于1并且對于其他掃描線等于0。

12.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中使用超過兩個掃描圖案，至少一個掃描圖案與至少兩個其他的掃描圖案形成交叉點，因此形成至少兩個交叉點集合，從這至少兩個交叉點集合選擇一個交點組C。

13.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中交叉點集合等于所述交點組C。

14.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中使用超過三個掃描圖案，至少兩個掃描圖案標稱相同，并且所述掃描圖案逐對組合以形成許多改進圖像，所述許多改進圖像組合以形成最終圖像。

15.根據權利要求14所述的方法，其中所述組合包括校正所述改進圖像相對彼此的移位和旋轉。