[發明專利]一種高壓二極管芯片合金工藝有效
| 申請號: | 201210394408.2 | 申請日: | 2012-10-17 |
| 公開(公告)號: | CN102945810A | 公開(公告)日: | 2013-02-27 |
| 發明(設計)人: | 黃麗鳳 | 申請(專利權)人: | 如皋市大昌電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
| 地址: | 226500 江蘇省南通市如*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 高壓 二極管 芯片 合金 工藝 | ||
1.一種高壓二極管芯片合金工藝,其特征在于:包括以下步驟:
(1)將鍍鎳芯片與高溫焊片逐片間隔堆疊,最外層鍍鎳芯片的另一面各放置一片低溫焊片;
(2)將上述堆疊的材料置于高頻合金爐內進行一次合金加熱,使高溫焊片與鍍鎳芯片形成良好的合金,將低溫焊片完全熔化,完全覆蓋于最外層鍍鎳芯片,以防止最外層鍍鎳芯片氧化;
(3)在上述一次合金半產品兩面各放置一片低溫焊片,置于高頻合金爐中進行二次合金加熱,使低溫焊片與一次合金半產品形成良好合金。
2.根據權利要求1所述的一種高壓二極管芯片合金工藝,其特征在于:步驟(1)中所述高溫焊片厚度為50um~100um,液相線305℃,所述低溫焊片厚度為30um~80um,液相線280℃。
3.根據權利要求1所述的一種高壓二極管芯片合金工藝,其特征在于:步驟(2)中所述合金加熱條件為:熔化深度300um~600um,轉換功率35%~50%。
4.根據權利要求1所述的一種高壓二極管芯片合金工藝,其特征在于:步驟(3)中所述低溫焊片厚度為80um~120um,液相線280℃;所述二次合金加熱條件為:熔化深度50um~90um,轉換功率15%~35%。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





