[發(fā)明專利]一種石墨烯的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210390882.8
• 申請日: 2012-10-15
• 公開（公告）號: CN102874801A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 狄增峰;王剛;朱云;陳達(dá);張苗;丁古巧;謝曉明
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種石墨烯的制備方法，其特征在于，所述制備方法至少包括：

1）提供一半導(dǎo)體基底；

2）在氫氣和惰性氣氛下，將所述半導(dǎo)體基底加熱至810~910℃；

3）保持步驟2）中溫度不變，在氫氣和惰性氣氛下向步驟2）的反應(yīng)體系中通入碳源，采用化學(xué)氣相沉積的方法在所述步驟2）處理完畢的半導(dǎo)體基底表面進(jìn)行反應(yīng)；

4）反應(yīng)完畢后關(guān)閉所述碳源，并在氫氣和惰性氣氛下冷卻至室溫，完成在所述半導(dǎo)體基底表面制備石墨烯。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯的制備方法，其特征在于：所述半導(dǎo)體基底包括鍺或砷化鎵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯的制備方法，其特征在于：所述碳源選自氣態(tài)碳源、液態(tài)碳源和固態(tài)碳源的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種石墨烯的制備方法，其特征在于：所述氣態(tài)碳源為甲烷、乙炔或乙烯，所述液態(tài)碳源為甲醇或乙醇，所述固態(tài)碳源為聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚二甲基硅氧烷。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項所述的一種石墨烯的制備方法，其特征在于：所述步驟3）中，所述碳源的流量為0.1~20sccm；所述氫氣的流量為2~100sccm；所述反應(yīng)時間為20~120min。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯的制備方法，其特征在于：所述步驟1）還包括將所述半導(dǎo)體基底分別用水、去離子水、乙醇和丙酮清洗干凈的步驟。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯的制備方法，其特征在于：所述步驟4）中制備的石墨烯為單層或雙層石墨烯薄膜。