[發(fā)明專利]壓印設(shè)備和使用該壓印設(shè)備的物品制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210387601.3
• 申請日: 2012-10-15
• 公開（公告）號: CN103048879A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林達也;村上洋介;長谷川敬恭;鳥居弘稔;田中悠輔
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;B82Y10/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務(wù)所 11038
• 代理人: 李曉芳

1.一種將形成在模具上的圖案轉(zhuǎn)印到襯底上的樹脂的壓印設(shè)備，所述壓印設(shè)備包括：

形狀校正機構(gòu)，被配置為向該模具施加力，從而使形成在該模具上的圖案區(qū)域變形；

加熱機構(gòu)，被配置為加熱形成在該襯底上的襯底側(cè)圖案區(qū)域，從而使該襯底側(cè)圖案區(qū)域變形；和

控制單元，被配置為獲得關(guān)于形成在該模具上的圖案區(qū)域和該襯底側(cè)圖案區(qū)域的形狀之間的差別的信息，并且基于獲得的信息控制該形狀校正機構(gòu)和該加熱機構(gòu)，以便減小形成在該模具上的圖案區(qū)域和該襯底側(cè)圖案區(qū)域的形狀之間的差別。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，還包括：

檢測單元，被配置為檢測形成在該模具上的多個標記和形成在該襯底上的多個標記，

其中該控制單元基于由該檢測單元檢測的結(jié)果獲得該信息。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，還包括：

檢測單元，被配置為檢測形成在該模具上的多個標記和形成在該襯底上的多個標記，

其中該檢測單元測量形成在該模具上的至少四個標記和形成在該襯底上的至少四個標記。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓印設(shè)備，其中該檢測單元測量形成在該模具上的至少四個標記和形成在該襯底上的至少四個標記。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中該控制單元控制該加熱機構(gòu)以便在該襯底側(cè)圖案區(qū)域上形成溫度分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中該加熱機構(gòu)能夠僅僅加熱該襯底的部分區(qū)域，并且該控制單元基于獲得的信息確定要由該加熱機構(gòu)加熱的區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中該加熱機構(gòu)包括光源并且通過利用從該光源發(fā)射的光照射該襯底來加熱該襯底側(cè)圖案區(qū)域。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓印設(shè)備，其中該樹脂是由紫外光可固化的樹脂，并且使用該加熱機構(gòu)照射到該襯底上的光的波長在從400nm到2000nm的范圍中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中該控制單元在使得該襯底上的樹脂與該模具接觸的狀態(tài)下控制該加熱機構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中在由該形狀校正機構(gòu)使形成在該模具上的圖案區(qū)域變形之后或在由該形狀校正機構(gòu)使形成在該模具上的圖案區(qū)域變形期間，該控制單元使得該加熱機構(gòu)使該襯底側(cè)圖案區(qū)域變形。

11.一種用于制造裝置的裝置制造方法，該方法包括：

使用壓印設(shè)備將形成在模具上的圖案轉(zhuǎn)印到襯底上的樹脂；以及

蝕刻其上已經(jīng)形成轉(zhuǎn)印的圖案的所述襯底，

其中該壓印設(shè)備包括：

形狀校正機構(gòu)，被配置為向該模具施加力，從而使形成在該模具上的圖案區(qū)域變形；

加熱機構(gòu)，被配置為加熱形成在該襯底上的襯底側(cè)圖案區(qū)域，從而使該襯底側(cè)圖案區(qū)域變形；和

控制單元，被配置為獲得關(guān)于形成在該模具上的圖案區(qū)域和該襯底側(cè)圖案區(qū)域的形狀之間的差別的信息，并且基于獲得的信息控制該形狀校正機構(gòu)和加熱機構(gòu)，以便減小形成在該模具上的圖案區(qū)域和該襯底側(cè)圖案區(qū)域的形狀之間的差別。

12.一種用于將形成在模具上的圖案轉(zhuǎn)印到襯底上的樹脂的壓印方法，所述方法包括：

向該模具施加力，從而使形成在該模具上的圖案區(qū)域變形；

加熱形成在該襯底上的襯底側(cè)圖案區(qū)域，從而使該襯底側(cè)圖案區(qū)域變形；和

在使形成在該模具上的圖案區(qū)域和該襯底側(cè)圖案區(qū)域變形的狀態(tài)下，固化該襯底上的樹脂。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印方法，其中所述加熱在所述力施加之前執(zhí)行或者與所述力施加同時執(zhí)行。

14.如權(quán)利要求12所述的壓印方法，還包括：

使得該模具與該襯底上的樹脂接觸，

其中所述加熱在使得該模具與該襯底上的樹脂接觸的狀態(tài)下執(zhí)行。

15.如權(quán)利要求13所述的壓印方法，還包括：

使得該模具與該襯底上的樹脂接觸，

其中所述加熱在使得該模具與該襯底上的樹脂接觸的狀態(tài)下執(zhí)行。

16.如權(quán)利要求12所述的壓印方法，還包括：

檢測形成在該模具上的多個標記和形成在該襯底側(cè)圖案區(qū)域上的多個標記。