[發(fā)明專利]誤差擴(kuò)散和網(wǎng)格移位的算法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210387380.X
• 申請日: 2012-10-12
• 公開（公告）號: CN103293870A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉沛怡;林世杰;王文娟;許照榮;林本堅(jiān)
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;孫征

1.一種在光刻處理中使用的方法，包括：

在圖形數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)(GDS)網(wǎng)格中提供集成電路(IC)布局設(shè)計(jì)；

將所述IC布局設(shè)計(jì)GDS網(wǎng)格轉(zhuǎn)換為子像素曝光網(wǎng)格；

對所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用誤差擴(kuò)散技術(shù)；

對接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用網(wǎng)格移位技術(shù)，以生成網(wǎng)格移位曝光網(wǎng)格；

在對接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用所述網(wǎng)格移位的同時，將接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格轉(zhuǎn)換為具有較大像素尺寸的曝光網(wǎng)格；

將所述曝光網(wǎng)格與所述網(wǎng)格移位曝光網(wǎng)格相加，以生成第二曝光網(wǎng)格，其中，所述第二曝光網(wǎng)格使用比所述子像素曝光網(wǎng)格更少的數(shù)據(jù)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述子像素曝光網(wǎng)格由像素的二維陣列形成，并且其中，所述像素尺寸被選擇為大于所述IC布局設(shè)計(jì)GDS網(wǎng)格的所述像素尺寸。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述子像素曝光網(wǎng)格的所述像素尺寸在0.5nm到8.0nm的范圍內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述誤差擴(kuò)散技術(shù)包括Floyd-Steinberg誤差擴(kuò)散算法。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述網(wǎng)格移位包括沿著第一方向移位。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述網(wǎng)格移位包括沿著第二方向移位。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述網(wǎng)格移位包括沿著第一方向和第二方向移位。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述移位等于在每個方向上的所述網(wǎng)格移位子像素曝光網(wǎng)格的像素尺寸的一半。

9.一種用于在光刻中提供曝光網(wǎng)格的方法，包括：

在圖形數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)(GDS)網(wǎng)格中提供集成電路(IC)布局設(shè)計(jì)；

將所述IC設(shè)計(jì)布局GDS網(wǎng)格轉(zhuǎn)換為具有0.5nm到8.0nm的像素尺寸的子像素曝光網(wǎng)格，并且使用針對灰度級的k位；

對所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用Floyd-Steinberg誤差擴(kuò)散算法，并且使用針對灰度級的少于k位；

對接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用網(wǎng)格移位，以生成網(wǎng)格移位曝光網(wǎng)格，并且使用針對灰度級的少于k位；

在對接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用所述網(wǎng)格移位的同時，將接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格轉(zhuǎn)換為具有比所述子像素曝光網(wǎng)格的像素尺寸更大的像素尺寸的曝光網(wǎng)格；以及

結(jié)合所述曝光網(wǎng)格與所述網(wǎng)格移位曝光網(wǎng)格，以生成第二曝光網(wǎng)格，其中，所述第二曝光網(wǎng)格使用比所述子像素曝光網(wǎng)格更少的數(shù)據(jù)量。

10.一種提供用于光刻處理的曝光網(wǎng)格的方法，包括：

在圖形數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)(GDS)網(wǎng)格中提供具有像素坐標(biāo)系統(tǒng)的二維陣列中的多個多邊形的集成電路(IC)布局設(shè)計(jì)；

對所述IC布局設(shè)計(jì)GDS網(wǎng)格應(yīng)用鄰近校正處理；

使用大于所述IC布局設(shè)計(jì)GDS網(wǎng)格的像素尺寸并且使用針對灰度級的k位將所述IC布局GDS網(wǎng)格轉(zhuǎn)換為具有像素坐標(biāo)系統(tǒng)的二維陣列中的多個多邊形的子像素曝光網(wǎng)格；

對所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用所述Floyd-Steinberg誤差擴(kuò)散，并且使用針對灰度級的少于k位；

對接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用將多個網(wǎng)格移位，以生成網(wǎng)格移位曝光網(wǎng)格，其中，所述網(wǎng)格移位曝光網(wǎng)格使用針對灰度級的(k-1)位；

在對接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格應(yīng)用所述網(wǎng)格轉(zhuǎn)移的同時，將接受所述誤差擴(kuò)散之后的所述子像素曝光網(wǎng)格轉(zhuǎn)換為具有為所述子像素曝光網(wǎng)格的像素尺寸的兩倍的像素尺寸的曝光網(wǎng)格；以及

將所述曝光網(wǎng)格與所述網(wǎng)格移位曝光網(wǎng)格相加，以生成第二曝光網(wǎng)格，其中，所述第二曝光網(wǎng)格使用比所述子像素曝光網(wǎng)格更少的數(shù)據(jù)量。