[發明專利]流量控制裝置以及處理裝置

有效

• 申請號: 201210384397.X
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN103049008A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 岡部庸之;守谷修司;松野一成
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;舒艷君

本申請以2011年10月14日向日本專利廳提交的日本專利申請第2011-227116號為基礎并要求其優先權，并在本說明中包含其全部公開內容。

技術領域

本發明涉及在處理半導體晶圓等被處理體時所供給的氣體的流量控制裝置以及使用了該流量控制裝置的處理裝置。

背景技術

一般而言，在制造半導體器件時，通過對硅基板等的半導體晶圓反復實施成膜處理、蝕刻處理、退火處理、氧化擴散處理等各種處理，來制造所希望的器件。為了進行上述那樣的各種處理而需要使用處理所需的各種處理氣體，該情況下，為了進行穩定的處理，除了高精度地控制工藝溫度、工藝壓力以外，還正在尋求高精度地控制上述處理氣體的流量的技術。

作為高精度地控制這樣的處理氣體的流量的裝置，一般而言，大多使用例如質量流程控制器那樣的流量控制裝置（專利文獻1、2等）。該流量控制裝置捕捉通過氣體在傳感器管內流動而產生的熱移動量作為電阻值根據溫度而變化的電阻絲的電阻變化，從而求得流量（質量流量）。該情況下，在該流量控制裝置中預先存儲有表示操作人員輸入的流量設定值所對應的流量指示信號與目標流量的關系的換算數據，該流量控制裝置本身通過反饋控制自動進行流量控制，以實現與上述流量指示信號對應的目標流量。

專利文獻1：日本特開2005-222173號公報

專利文獻2：國際公開WO2008-016189

發明內容

然而，上述流量控制裝置是基于伴隨氣體的流動而產生的熱移動量對流量進行控制的，因此若所使用的氣體種類的比熱不同，則氣體流量也相應地發生變化。因此，在以往的流量控制裝置中預先規定了基于成為某基準的氣體種類，例如N₂氣體的其他各種氣體種類的修正值，即、換算系數（以下也稱為“CF值”）。而且，在流量控制裝置的購入時，已購入了存儲有基于利用者的下訂單時指定的氣體種類的CF值來求得的換算數據的流量控制裝置。

然后，在實際的處理裝置中，現狀為使用多種多用的氣體，在這樣的情況下，為了降低設備成本而存在采用如下面那樣的方式的情況，即：在一臺流量控制裝置中，除了購入時預定的氣體種類以外，還對該氣體種類以外的其他1個或者多個氣體種類進行流量控制的使用方式。在這樣的情況下，處理裝置的操作人員根據新要進行流量控制的氣體種類所對應的上述CF值，另外通過人工計算來求出修正流量，輸出并存儲該修正流量。

然而，該CF值根據流量控制裝置的廠家、模式的不同而不同，因而，存在不只輸入時計算繁瑣、還導致計算錯誤這樣的問題。

本發明是著眼于以上那樣的問題點，為了有效解決上述問題而做出。本發明提供一種不進行繁瑣的操作就能夠對多個氣體種類進行流量控制的流量控制裝置以及使用了該流量控制的處理裝置。

本發明的一實施方式為，在控制流向氣體通路的氣體流量的流量控制裝置中，具備：與上述氣體通路連接的主氣體管；檢測流向上述主氣體管的氣體的流量，輸出流量信號的流量檢測單元；設置于上述主氣體管，通過改變閥開度來控制流量的流量控制閥機構；存儲用于表示從外部輸入的流量指示信號與目標流量的關系的、與多個氣體種類對應的多個換算數據的換算數據存儲部；根據從外部輸入的氣體種類選擇信號，從上述多個換算數據中選擇對應的換算數據，并且根據上述流量指示信號求出上述目標流量，并根據該目標流量與上述流量信號控制上述流量控制閥機構的流量控制主體。

發明本另一實施方式為：在對被處理體實施處理的處理裝置中，具備：具有收容上述被處理體的處理容器，對上述被處理體實施處理的處理裝置主體；對上述處理容器內進行排氣的排氣系統；中途設置有上述流量控制裝置，在該流量控制裝置的上游側形成了設置有用于排放不同的氣體種類的開閉閥的多個分支氣體路，下游側具有與上述處理容器連接的氣體通路的氣體供給系統；具有輸入輸出包含至少與氣體種類相關的信息與設定流量的處理信息的輸入輸出部，并進行裝置整體的控制。

以下，將對本發明的其他目的和優點進行說明，他們或是出現在下述說明中或者是可以通過下述實施方式被容易想到，本發明的其他目的和優點可以通過下述說明獲得，或者通過組合下述特征而得到。

附圖說明

附圖是組成或構成本發明的一部分，通過下述結合附圖的說明更用助于理解本發明。

圖1是表示使用了本發明的流量控制裝置的處理裝置的概略構成圖。

圖2是表示本發明的流量控制裝置的構成框圖。

圖3是表示存儲在流量控制裝置的換算數據存儲部中的換算數據的一個例子的圖。