[發明專利]流量控制裝置以及處理裝置

有效

• 申請號: 201210384397.X
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN103049008A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 岡部庸之;守谷修司;松野一成
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;舒艷君

1.一種流量控制裝置，其控制流向氣體通路的氣體流量，該流量控制裝置的特征在于，具備：

主氣體管，其與所述氣體通路連接；

流量檢測單元，其檢測流向所述主氣體管的氣體的流量并輸出流量信號；

流量控制閥機構，其設置于所述主氣體管，通過改變閥開度來控制流量；

換算數據存儲部，其存儲用于表示從外部輸入的流量指示信號與目標流量的關系的、與多個氣體種類對應的多個換算數據；和

流量控制主體，其基于從外部輸入的氣體種類選擇信號，從所述多個換算數據中選擇對應的換算數據，并且基于所述流量指示信號求出所述目標流量，基于該目標流量和所述流量信號，對所述流量控制閥機構進行控制。

2.根據權利要求1所述的流量控制裝置，其特征在于，

具有通信部，該通信部針對所述流量指示信號和所述氣體種類選擇信號與外部進行通信。

3.一種處理裝置，其是對被處理體實施處理的處理裝置，該處理裝置的特征在于，具備：

處理裝置主體，其具有收容所述被處理體的處理容器，并對所述被處理體實施處理；

排氣系統，其對所述處理容器內進行排氣；

氣體供給系統，其中途設置有權利要求1所述的流量控制裝置，在該流量控制裝置的上游側形成了設置有用于排放不同的氣體種類的開閉閥的多個分支氣體路，該流量控制裝置的下游側具有與所述處理容器連接的氣體通路；和

裝置控制部，其具有輸入輸出包含至少與氣體種類相關的信息和設定流量的處理信息的輸入輸出部，并進行裝置整體的控制。

4.根據權利要求3所述的處理裝置，其特征在于，

所述裝置控制部基于與所述氣體種類相關的信息，形成氣體種類選擇信號。

5.根據權利要求4所述的處理裝置，其特征在于，

所述裝置控制部被配置成，氣體種類與所述開閉閥被預先建立關聯，通過確定所述開閉閥作為與所述氣體種類相關的信息，能夠確定氣體種類。

6.根據權利要求3所述的處理裝置，其特征在于，

所述裝置控制部被配置成，具有顯示部，該顯示部根據氣體種類來顯示能夠流動的最大流量的全刻度流量。

7.根據權利要求3所述的處理裝置，其特征在于，

所述裝置控制部被配置成，預先規定了動作的順序的工藝配方中的各步驟與所使用的氣體種類被預先建立關聯，通過確定所述工藝配方的步驟作為與所述氣體種類相關的信息，能夠確定氣體種類。