[發明專利]一種密閉腔體中的樣品臺

有效

• 申請號: 201210384369.8
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN102903593A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 楊之青;劉敦一
• 申請（專利權）人: 中國地質科學院地質研究所
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 馬佑平

技術領域

本發明涉及機械傳動領域，尤其涉及一種高真空或超高真空的密閉腔體中的樣品臺。

背景技術

現代分析儀器越來越多的需要用到高真空或超高真空的工作環境，在高真空或超高真空的密閉腔體中，樣品臺承載樣品進行定位后，在真空環境中對試樣進行加工或分析等操作。

典型的，具有真空環境的儀器如二次離子探針質譜儀，其對樣品的微區分析的要求是在超高真空環境中進行的，高精密的樣品臺承載樣品在真空腔體中在三維空間中移動，將待分析樣品的位置進行精確的定位，同時，還在二次離子引出的方向上移動，以精確聚焦一次離子束轟擊樣品表面的束斑斑點，以對樣品進行轟擊并對濺射出來的二次離子進行分析，為了保證分析結果的精確性，在整個過程中，對真空環境的純凈度有很高的要求。

由于有的質譜儀器的真空腔體中的樣品臺為真空步進電機驅動的樣品臺，該樣品臺的機械運動部分及電機驅動部分都置于真空腔體中，通過電真空插頭將電源線和控制線連接到驅動電機。然而，步進電機對潤滑油的要求較高，并且潤滑油會對真空環境造成一定的污染，而且也引入了其他的電氣材料，在電機工作時由于電氣材料放氣及電機發熱會造成真空度的波動而影響分析結果，而隨著質譜儀器的不斷發展，對真空度的要求也越來越高，對現有的樣品臺提出了更高的要求。

發明內容

本發明旨在解決上述問題之一，提供了一種密閉腔體中的樣品臺，保證更純凈的真空環境。

為實現上述目的，本發明實施例提供了如下技術方案：

一種樣品臺，置于密閉腔體中，包括：

運動模塊，所述運動模塊包括相對設置的第一表面和第二表面，以及相對設置的第三表面和第四表面，第一表面和第二表面上沿第一方向對應設置有第一導軌，第三表面和第四表面上沿第二方向對應設置有第二導軌，第一方向與第二方向正交，第一導軌與第二導軌之間有間隔；

第一導向模塊，具有沿第一方向設置的第三導軌，并與沿第二方向設置的第一傳動桿的一端連接，所述第三導軌與第一導軌相配合；

第二導向模塊，具有沿第二方向設置的第四導軌，并與沿第一方向設置的第二傳動桿的一端連接，所述第四導軌與第二導軌相配合；

其中，所述導軌為交叉滾柱導軌，所述第一傳動桿以及第二傳動桿的另一端置于密閉腔體外，并分別連接位于密閉腔體外的驅動機構。

可選地，還包括：限位模塊，所述限位模塊具有限定第一導向模塊沿第二方向的運動軌跡的第一端，以及具有限定第二導向模塊沿第一方向的運動軌跡的第二端。

可選地，所述第一端上具有沿第二方向設置的第五導軌以及沿第一方向設置的第六導軌，所述第一導向模塊具有沿第二方向設置的第七導軌，所述第二導向模塊具有沿第一方向設置的第八導軌，所述第五導軌與第七導軌相配合，所述第六導軌與第八導軌相配合，所述導軌為交叉滾柱導軌。

可選地，所述第一傳動桿以及第二傳動桿與驅動機構通過波紋管連接。

可選地，所述驅動機構為驅動電機，所述驅動電機通過滾柱絲杠與波紋管連接。

可選地，所述波紋管為小波紋管。

本發明提供的樣品臺，在整個真空腔內，為純機械配合的設計，可以采用非潤滑油的方式進行潤滑，避免了電動裝置對潤滑油的高要求，提高了密閉腔體中的真空度，此外，通過傳動桿將動力傳入腔體內，而驅動裝置不必置于腔體中，避免了電氣原件在密閉腔體中的使用，更進一步提高了密閉腔體內的真空度。

附圖說明

圖1為根據本發明實施例的樣品臺的爆炸圖；

圖2為圖1中的運動模塊的結構示意圖；

圖3為圖1中的運動模塊與一導向模塊配合后的結構示意圖；

圖4為圖1中的運動模塊與第一和第二導向模塊配合后的結構示意圖；

圖5為圖1的組裝圖；

圖6為圖5中的樣品臺置于密閉腔體中的示意圖。

具體實施方式

為使發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的具體實施方式做詳細的說明。

在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本發明，但是本發明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本發明內涵的情況下做類似推廣，因此本發明不受下面公開的具體實施例的限制。