[發(fā)明專(zhuān)利]一種發(fā)光二極管及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210375884.X
• 申請(qǐng)日: 2012-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103715319A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張楠;郝茂盛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海藍(lán)光科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L33/10
• 分類(lèi)號(hào): H01L33/10;H01L33/20;H01L33/00
• 代理公司: 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種發(fā)光二極管，其特征在于，依次包括襯底；設(shè)置在所述襯底一表面的發(fā)光結(jié)構(gòu)層，所述發(fā)光結(jié)構(gòu)層呈倒梯形結(jié)構(gòu)且至少包括N型半導(dǎo)體層、位于N型半導(dǎo)體層上的量子阱層、及位于量子阱層上的P型半導(dǎo)體層；位于所述N型半導(dǎo)體層上的N電極；依次位于P型半導(dǎo)體層上的透明導(dǎo)電層和P電極；結(jié)合于所述透明導(dǎo)電層表面的第一反射鏡層；設(shè)置在所述襯底另一表面上的第二反射鏡層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制作方法，其特征在于：所述第一反射鏡層對(duì)波長(zhǎng)范圍為420~480nm的可見(jiàn)光透過(guò)率大于90%、對(duì)波長(zhǎng)范圍為500~800nm的可見(jiàn)光的反射率大于90%。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)光二極管，其特征在于：所述第一反射鏡層包括分布布拉格反射鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管，其特征在于：所述第二反射鏡層對(duì)波長(zhǎng)范圍為420~480nm的可見(jiàn)光反射率大于98%。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)光二極管，其特征在于：所述第二反射鏡層包括分布布拉格反射鏡或全方位反射鏡。

6.一種發(fā)光二極管的制作方法，其特征在于，所述制作方法至少包括步驟：

a)提供一襯底，在所述襯底一表面上制備選擇性生長(zhǎng)層；

b)在所述襯底表面的非選擇性生長(zhǎng)層區(qū)選擇性外延生長(zhǎng)發(fā)光結(jié)構(gòu)層，所述發(fā)光結(jié)構(gòu)層至少包括N型半導(dǎo)體層、位于N型半導(dǎo)體層上的量子阱層、及位于量子阱層上的P型半導(dǎo)體層。通過(guò)橫向生長(zhǎng)技術(shù)使得發(fā)光結(jié)構(gòu)層形成倒梯形結(jié)構(gòu)；

c)通過(guò)刻蝕技術(shù)在N型半導(dǎo)體層上制備N(xiāo)電極，在P型半導(dǎo)體層上依次制備透明導(dǎo)電層和P電極；

d)在所述透明導(dǎo)電層上制備第一反射鏡層；

e)研磨拋光所述襯底的另一表面，然后在所述襯底的另一表面上制備第二反射鏡層；

f)裂片，獲得獨(dú)立的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的發(fā)光二極管的制作方法，其特征在于：所述選擇性生長(zhǎng)層材料包括SiO₂、Si₃N₄或W。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的發(fā)光二極管的制作方法，其特征在于：所述選擇性生長(zhǎng)層的厚度為10~1000nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的發(fā)光二極管的制作方法，其特征在于：所述第一反射鏡層對(duì)波長(zhǎng)范圍為420~480nm的可見(jiàn)光透過(guò)率大于90%、對(duì)波長(zhǎng)范圍為500~800nm的可見(jiàn)光的反射率大于90%。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的發(fā)光二極管，其特征在于：所述第一反射鏡層包括分布布拉格反射鏡。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的發(fā)光二極管，其特征在于：所述第二反射鏡層對(duì)波長(zhǎng)范圍為420~480nm的可見(jiàn)光反射率大于98%。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的發(fā)光二極管，其特征在于：所述第二反射鏡層包括分布布拉格反射鏡或全方位反射鏡。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的發(fā)光二極管的制作方法，其特征在于：采用電子束蒸鍍、濺射或離子輔助鍍膜來(lái)制備分布布拉格反射鏡或全方位反射鏡。