[發(fā)明專(zhuān)利]一種環(huán)形磁控濺射裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210375207.8
• 申請(qǐng)日: 2012-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102864426A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉星元;林杰;李會(huì)斌
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專(zhuān)利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種環(huán)形磁控濺射裝置，包括外充氣管（1）、靶材（2）、靶基（3）、外磁鋼（6）、內(nèi)磁鋼（10）、極靴（9）及外屏蔽板（7），其特征在于，所述內(nèi)磁鋼（10）中間開(kāi)有矩形孔進(jìn)而形成環(huán)狀矩形磁鋼，所述極靴（9）中間開(kāi)的孔與所述內(nèi)磁鋼（10）中間開(kāi)的孔的大小相同；所述極靴（9）的長(zhǎng)度及寬度與所述外磁鋼（6）的長(zhǎng)度及寬度相同；所述內(nèi)磁鋼（10）和所述外磁鋼（6）置于所述極靴（9）上，所述外磁鋼（6）外邊緣與所述極靴（9）外邊緣對(duì)齊，所述內(nèi)磁鋼（10）中間開(kāi)的孔的內(nèi)邊緣與所述極靴（9）中間開(kāi)的孔的內(nèi)邊緣對(duì)齊；所述外磁鋼（6）及所述內(nèi)磁鋼（10）與所述極靴（9）形成一個(gè)環(huán)形的磁場(chǎng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)形磁控濺射裝置，其特征在于，所述環(huán)形磁控濺射裝置還包括內(nèi)充氣管（4）、壓靶材條（5）、靶體（8）以及內(nèi)屏蔽板（11）；所述內(nèi)磁鋼（10）、外磁鋼（6）、極靴（9）組裝在靶體（8）上，所述靶體（8）上面設(shè)有靶基（3），所述靶基（3）上設(shè)有內(nèi)外兩圈壓靶材條（5），所述壓靶材條（5）位于靶基（3）上，整個(gè)濺射裝置外部設(shè)有外屏蔽板（7），所述內(nèi)屏蔽板（11）上部、內(nèi)磁鋼（10）之外設(shè)有內(nèi)充氣管（4）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述外磁鋼（6）、極靴（9）、靶體（8）及靶基（3）均為矩形的環(huán)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述靶體（8）和靶基（3）組成的整體為密封體。