[發明專利]玻璃基板搬運方法和玻璃基板層疊體形成方法

有效

• 申請號: 201210356975.9
• 申請日: 2012-09-21
• 公開（公告）號: CN103010742A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 山先達也;赤堀正憲
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G49/06;B65G57/00;B65G61/00;B24B7/24;B24B7/16
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

技術領域

本發明涉及玻璃基板搬運方法及使用了該玻璃基板搬運方法的玻璃基板層疊體形成方法、玻璃基板搬運裝置、具有所述玻璃基板搬運裝置的玻璃基板層疊體形成系統、以及使用了所述玻璃基板搬運方法的磁記錄介質用玻璃基板的制造方法、使用了所述玻璃基板層疊體形成方法的磁記錄介質用玻璃基板的制造方法。

背景技術

在制造玻璃基板時，在玻璃基板的端面或主平面進行磨削、研磨等加工，以使玻璃基板的形狀滿足規定的條件。在制造玻璃基板的工序中，需要在對玻璃基板進行加工或前處理時搬運玻璃基板。

以往，作為搬運玻璃基板的方法，采用例如專利文獻1所公開的方法，即，使玻璃基板直接接觸并吸附于作為保持件的玻璃卡盤的吸附面而進行搬運。

專利文獻1：日本國特開2010－238292號公報

如專利文獻1所公開的那樣，當使保持件直接吸附于玻璃基板的主平面而進行搬運時，存在有時會在與保持件接觸的玻璃基板的表面產生傷痕的問題。特別是在要求加工精度的用途中，不希望在玻璃基板的表面產生傷痕，尋求得到其改善。

發明內容

因此，本發明鑒于現有技術存在的問題而提出，其目的在于提供一種在搬運玻璃基板時不易在玻璃基板產生傷痕的玻璃基板搬運方法。

為了解決上述課題，本發明提供一種玻璃基板搬運方法，其隔著墊片由保持件保持玻璃基板，并同時搬運墊片和玻璃基板。

發明效果

根據本發明，在搬運玻璃基板時，在保持玻璃基板的保持件和玻璃基板之間配置墊片，隔著墊片保持玻璃基板，因此可以抑制在玻璃基板的表面產生傷痕。

附圖說明

圖1是通過本發明所涉及的第一實施方式中的保持件來保持玻璃基板的方式的說明圖。

圖2是本發明所涉及的第二實施方式中的玻璃基板層疊體形成方法的說明圖。

圖3是本發明所涉及的第三實施方式中的玻璃基板搬運裝置的說明圖。

標號說明

10、22、321玻璃基板

11、25墊片

12吸附工具

24、324液體

27玻璃基板層疊體

30玻璃基板搬運裝置

31玻璃基板載置部

32玻璃基板搬運機構

326墊片載置部

325玻璃基板－墊片對形成部

327墊片搬運機構

329玻璃基板－墊片對搬運機構

具體實施方式

下面，參照附圖對用于實施本發明的方式進行說明，但本發明不限于下述實施方式，不脫離本發明的范圍而可以對下述實施方式給予各種變形及替換。

［第一實施方式］

在本實施方式中，對以下玻璃基板搬運方法進行說明，即，隔著墊片通過保持件保持玻璃基板，并同時搬運墊片和玻璃基板。

在此，首先對在上述方法中使用的墊片、玻璃基板進行說明。

對于墊片的形狀并沒有限定，只要至少具有通過保持件進行保持的部分、且可以在保持玻璃基板時配置于保持件和玻璃基板之間即可。因此，可以根據作為緩沖材料的性能、質量、制造工序中的操作上的要求等進行適當選擇，特別是在搬運玻璃基板后的工序中使用墊片時，優選使用在其后工序中使用的墊片。這是因為，通過使用在搬運玻璃基板之后的工序中使用的墊片，不需要在搬運后對墊片進行配置、調換等，可以直接實施后工序，從而可以減少工序數。

例如，在作為玻璃基板而使用圓盤形狀的磁記錄介質用玻璃基板時，優選與玻璃基板的形狀一致而使用圓盤形狀的墊片。而且，若為在研磨外周端面時配置的墊片，則優選墊片的外徑比玻璃基板的外徑小，若為在研磨內周端面時配置的墊片，則優選墊片的內徑比玻璃基板的內徑大。

墊片的材質并沒有限定，可以使用合成樹脂等各種材料，但例如優選使用聚丙烯、聚乙烯、聚氨基甲酸酯等薄膜狀材料。因為這些材料輕，在同時搬運玻璃基板和墊片時不會對保持件施加大的負荷，而且，可以實現作為緩沖材料的功能。

在搬運時與玻璃基板相對的墊片表面的表面粗糙度Ra（算術平均粗糙度）優選為2.0μm以下，更優選為1.7μm以下。進一步優選為1.4μm以下。

這是因為，當墊片表面的表面粗糙度比上述范圍大時，在搬運時玻璃基板和墊片的位置容易錯位。