[發明專利]一種測試棒及其制備方法

無效

• 申請號: 201210352391.4
• 申請日: 2012-09-20
• 公開（公告）號: CN102910911A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 張濤;胡動力;鐘德京;呂東
• 申請（專利權）人: 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
• 主分類號: C04B35/584
• 分類號: C04B35/584;C04B35/565;C04B35/622
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種測試棒，用于硅料熔化或硅晶體生長的測量領域，其特征在于，所述測試棒各組分及質量百分比為：氮化硅0%~100%，碳化硅0%~100%，硅粉0%~25%，燒結助劑0%~8%，所述氮化硅的純度為90%~99.95%，所述碳化硅的純度為90%~99.95%，所述硅粉的純度為90%~99.9999999%。

2.如權利要求1所述的一種測試棒，其特征在于，所述測試棒各組分及質量百分比為：氮化硅85%~99%，硅粉0%~10%，燒結助劑1%~5%。

3.如權利要求1所述的一種測試棒，其特征在于，所述測試棒各組分及質量百分比為：碳化硅80%~99%，硅粉0%~12％，燒結助劑1%~8%。

4.如權利要求1所述的一種測試棒，其特征在于，所述測試棒各組分及質量百分比為：氮化硅1%~20%，碳化硅50%~90%，硅粉0%~25%，燒結助劑1%~8%。

5.如權利要求1所述的一種測試棒，其特征在于，所述測試棒的截面外接圓直徑為5~30mm，長度為300~2400mm。

6.如權利要求1所述的一種測試棒，其特征在于，所述燒結助劑包括氧化釔、氧化鎂、氧化銫、二氧化硅、三氧化二鋁或碳粉中的一種或多種。

7.如權利要求1所述的一種測試棒，其特征在于，所述氮化硅的粒徑為0.1~10μm，所述碳化硅的粒徑為0.1~10μm，所述硅粉的粒徑為0.01~20μm。

8.一種如權利要求1～7任一項所述的測試棒的制備方法，其特征在于，稱取測試棒各組分原料，混合造粒，模壓成型，將坯體裝入保護性氣體氣氛燒結爐中，1300～2200℃溫度下，常壓燒結，高溫保溫時間0.5～15h，制備得到所述測試棒。

9.如權利要求8所述的一種制備方法，其特征在于，所述原料還包括粘結劑，所述粘結劑包括聚乙烯醇、聚四氟乙烯或羧甲基纖維素鈉的一種。

10.如權利要求8所述的一種制備方法，其特征在于，所述造粒粒徑為16~160目篩，所述成型方法包括在25~500MPa壓強下壓制成型。