[發明專利]一種三氯氫硅合成尾氣的處理方法和系統

有效

• 申請號: 201210345927.X
• 申請日: 2012-09-17
• 公開（公告）號: CN102908795A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 趙雄;杜俊平;嚴大洲;湯傳斌;肖榮暉;毋克力;楊永亮;姜利霞
• 申請（專利權）人: 中國恩菲工程技術有限公司
• 主分類號: B01D3/14
• 分類號: B01D3/14;C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成;黃德海

1.一種三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

a）將三氯氫硅合成尾氣加入洗滌精餾塔進行洗滌精餾以除去其中的固體和金屬雜質，得到洗滌后氣；

b）將所述洗滌后氣進行預冷，得到第一冷凝液和預冷后氣；

c）將所述預冷后氣與冷媒換熱冷凝，得到第二冷凝液和不凝氣，并將所述第二冷凝液升溫后與所述第一冷凝液混合，得到冷凝料；

d）將所述冷凝料進行緩沖處理，得到緩沖冷凝料；

e）選擇預定質量百分比的緩沖冷凝料作為回流液返回洗滌精餾塔進行洗滌精餾。

2.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述步驟c）包括：

c-1）將所述預冷后氣與冷媒換熱冷凝，得到第二冷凝液和不凝氣；

c-2）將所述第二冷凝液與所述洗滌后氣進行換熱處理，使所述第二冷凝液升溫至30～40℃；

c-3）將升溫后的第二冷凝液與所述第一冷凝液混合，得到冷凝料。

3.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述步驟c）還包括：將所述不凝氣排出，并控制不凝氣的排出溫度為-20～-10℃。

4.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述預定質量百分比為15%～50%。

5.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述洗滌精餾塔包括塔體，所述塔體下部設有合成尾氣進口，塔體上部設有洗滌后氣出口，所述塔體內包括從上至下依次連接的塔板區、篩板區和擋板區，

其中，所述擋板區位于所述合成尾氣進口上方，所述擋板區內徑向設置人字擋板，所述人字擋板上設有開口以除去合成尾氣中的固體雜質；

所述篩板區內設有篩板，所述篩板將經過所述擋板區處理的合成尾氣進行篩選以除去合成尾氣中殘存的固體雜質；

所述塔板區內設有多層塔板，相鄰塔板之間設有溢流堰，所述塔板區將經過所述篩板區處理的合成尾氣進行洗滌以除去其中的金屬雜質。

6.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述人字擋板設有3～5層，各層人字擋板沿塔體軸向交替分布。

7.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述篩板設有5～10層。

8.根據權利要求7所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述篩板的篩孔直徑為8～14mm，所述篩板沿塔體軸向分布，且從上至下分布的篩板的篩孔直徑依次增大。

9.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述塔板區內塔板為篩板塔盤或固舌塔盤。

10.根據權利要求9所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述塔板設有10～20層。

11.根據權利要求5所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法，其特征在于，所述塔體底部設有排液口以排出經過洗滌精餾產生的殘液。

12.一種三氯氫硅合成尾氣的處理系統，其特征在于，包括：

洗滌精餾塔，所述洗滌精餾塔用于將合成尾氣進行洗滌精餾以除去其中的固體和金屬雜質，得到洗滌后氣；

預冷裝置，所述預冷裝置對洗滌后氣進行預冷，得到第一冷凝液和預冷后氣；

深冷裝置，所述深冷裝置將預冷后氣與冷媒換熱冷凝，得到第二冷凝液和不凝氣，第二冷凝液返回所述預冷裝置并與所述第一冷凝液混合，得到冷凝料；和

緩沖裝置，所述緩沖裝置將所述冷凝料進行緩沖處理，得到緩沖冷凝料，并選擇預定質量百分比的緩沖冷凝料作為回流液返回洗滌精餾塔，

其中，所述洗滌精餾塔為根據權利要求1-11任一項中所述的三氯氫硅合成尾氣的處理方法中使用的洗滌精餾塔。

13.根據權利要求12所述的三氯氫硅合成尾氣的處理系統，其特征在于，所述預定質量百分比為15～50%。

14.根據權利要求12所述的三氯氫硅合成尾氣的處理系統，其特征在于，所述塔體底部設有排液口以排出經過洗滌精餾產生的殘液。

15.根據權利要求12所述的三氯氫硅合成尾氣的處理系統，其特征在于，所述洗滌精餾塔的操作壓力為0.15～0.25MPa，操作溫度為50～90℃。